SEMI T15 - 治具IDの一般仕様 (コンセプト) -
Abstract
免責事項:このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。
本スタンダードは,global Traceability Committeeで技術的に承認されている。現版はglobal Audits and Reviews Subcommitteeで2005年5月20日に発行が承認された。2005年6月にwww.semi.orgで, そして2005年7月にCD-ROMで入手可能となる。
この仕様スタンダードは,半導体製造工程で使用される治具に取り付けて,個々の治具を一義的に識別するための一般的なIDに関して記述する。
このスタンダードは,半導体製造工程で使用される治具に取り付けられるIDの以下の内容を定義する。
- IDの種類
- データフォーマット
Referenced SEMI Standards
SEMI T12 — Specification of Tracing Jigs and Implements
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T01500 - SEMI T15 - 治具IDの一般仕様 (コンセプト)
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