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E03900 - SEMI E39 - オブジェクトサービス･スタンダード：概念，挙動およびサービス

SEMI E39 - オブジェクトサービス･スタンダード：概念，挙動およびサービス

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E03800 - SEMI E38 - Cluster Tool Module Communications (CTMC)

SEMI E38 - Cluster Tool Module Communications (CTMC)

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E03700 - SEMI E37 - HSMS의 일반적 서비스(HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES (HSMS) GENERIC SERVICES)

SEMI E37 - HSMS의 일반적 서비스(HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES (HSMS) GENERIC SERVICES)

Member Price: $144.00
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E03700 - SEMI E37 - 高速SECSメッセージサービス（HSMS）汎用サービス

SEMI E37 - 高速SECSメッセージサービス（HSMS）汎用サービス

Member Price: $334.00
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E03501 - SEMI E35.1 - Guide for Cost of Equipment Ownership Comparison Metric

SEMI E35.1 - Guide for Cost of Equipment Ownership Comparison Metric

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E03500 - SEMI E35 - 半導体製造装置のCOO測定方法の計算ガイド

SEMI E35 - 半導体製造装置のCOO測定方法の計算ガイド

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E03400 - SEMI E34 - マスフローデバイス返還のためのガイドライン

SEMI E34 - マスフローデバイス返還のためのガイドライン

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E03300 - SEMI E33 - 半導体製造装置の電磁適合性（EMC）のためのガイド

SEMI E33 - 半導体製造装置の電磁適合性（EMC）のためのガイド

Member Price: $171.00
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E03005 - SEMI E30.5 - 計測装置の特定装置モデル

SEMI E30.5 - 計測装置の特定装置モデル

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E03001 - SEMI E30.1 - 検査および評価特定装置モデル（ISEM）

SEMI E30.1 - 検査および評価特定装置モデル（ISEM）

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E03000 - SEMI E30 - 제조장비제어와 커뮤니케이션을 위한 일반적 모델

SEMI E30 - 제조장비제어와 커뮤니케이션을 위한 일반적 모델

Member Price: $144.00
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E03000 - SEMI E30 - 製造装置の通信およびコントロールのための包括的モデル（GEM）

SEMI E30 - 製造装置の通信およびコントロールのための包括的モデル（GEM）

Member Price: $334.00
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E02900 - SEMI E29 - マスフローコントローラ及びマスフローメータの校正のための標準用語

SEMI E29 - マスフローコントローラ及びマスフローメータの校正のための標準用語

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E02800 - SEMI E28 - マスフローコントローラの圧力仕様のガイドライン

SEMI E28 - マスフローコントローラの圧力仕様のガイドライン

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E02700 - SEMI E27 - マスフローコントローラおよびマスフローメータの直線性のガイド

SEMI E27 - マスフローコントローラおよびマスフローメータの直線性のガイド

Member Price: $171.00
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E02600 - SEMI E26 - Radial Cluster Tool Footprint Standard

SEMI E26 - Radial Cluster Tool Footprint Standard

Member Price: $144.00
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E02400 - SEMI E24 - Cluster Tool Module Interface: Isolation Valve Interlocks Standard

SEMI E24 - Cluster Tool Module Interface: Isolation Valve Interlocks Standard

Member Price: $144.00
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E02400 - SEMI E24 - クラスタツール・モジュール・インタフェース：隔離バルブインタロックのスタンダード

SEMI E24 - クラスタツール・モジュール・インタフェース：隔離バルブインタロックのスタンダード

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E02000 - SEMI E20 - Cluster Tool Module Interface: Electrical Power and Emergency Off Standard

SEMI E20 - Cluster Tool Module Interface: Electrical Power and Emergency Off Standard

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E01905 - SEMI E19.5 - Specification for 300 mm Bottom-Opening Standard Mechanical Interface (SMIF)

SEMI E19.5 - Specification for 300 mm Bottom-Opening Standard Mechanical Interface (SMIF)

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E01700 - SEMI E17 - マスフローコントローラの過渡特性テストのガイド

SEMI E17 - マスフローコントローラの過渡特性テストのガイド

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E16300 - SEMI E163 - 特別に指定されたエリア内のレチクルおよびその他の静電気超敏感性（EES：EXTREMELY ELECTROSTATIC SENSITIVE）アイテムの取り扱いのためのガイド

SEMI E163 - 特別に指定されたエリア内のレチクルおよびその他の静電気超敏感性（EES：EXTREMELY ELECTROSTATIC SENSITIVE）アイテムの取り扱いのためのガイド

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E01600 - SEMI E16 - マスフローコントローラ漏洩率の決定および記述のガイド

SEMI E16 - マスフローコントローラ漏洩率の決定および記述のガイド

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E15900 - SEMI E159 - ウェーハの搬送及び，輸送のための多目的キャリア(MAC：Multi Application Carrier)の機械仕様

SEMI E159 - ウェーハの搬送及び，輸送のための多目的キャリア(MAC：Multi Application Carrier)の機械仕様

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