SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

Historical Individual Standards

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F08600 - SEMI F86 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様
SEMI F86 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F08500 - SEMI F85 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの寸法のための仕様
SEMI F85 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F08400 - SEMI F84 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様
SEMI F84 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F08300 - SEMI F83 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様
SEMI F83 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F08200 - SEMI F82 - 1.125インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用マスフローコントローラ／マスフローメータの寸法のための仕様
SEMI F82 - 1.125インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用マスフローコントローラ／マスフローメータの寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F00800 - SEMI F8 - 引張り力を受けた場合のフロロカーボン製チューブ継手接合部のシール能力を評価する試験方法
SEMI F8 - 引張り力を受けた場合のフロロカーボン製チューブ継手接合部のシール能力を評価する試験方法 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F00700 - SEMI F7 - フロロカーボン製チューブフィッティング接合部の引張り強さを測定するテスト方法
SEMI F7 - フロロカーボン製チューブフィッティング接合部の引張り強さを測定するテスト方法 Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F00600 - SEMI F6 - 危険ガス配管システムの二次封じ込め（ガイドライン）F00600 - SEMI F6 - 危険ガス配管システムの二次封じ込め（ガイドライン）
SEMI F6 - 危険ガス配管システムの二次封じ込め（ガイドライン） Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F06600 - SEMI F66 - Specification for Port Marking and Symbol of Stainless Steel Vessels for Liquid Chemicals
SEMI F66 - Specification for Port Marking and Symbol of Stainless Steel Vessels for Liquid Chemicals Regular price$300.00 USD Sale price$187.00 USD
F06600 - SEMI F66 - ステンレス製薬液容器のポート標記及び記号の仕様
SEMI F66 - ステンレス製薬液容器のポート標記及び記号の仕様 Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
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S00200 - SEMI S2 - Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
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S00800 - SEMI S8 - Safety Guideline for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S8 - Safety Guideline for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment Sale priceMember Price: $278.00
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E18700 - SEMI E187 - Specification for Cybersecurity of Fab Equipment
SEMI E187 - Specification for Cybersecurity of Fab Equipment Sale priceMember Price: $278.00
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S02200 - SEMI S22 - Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S22 - Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment Sale priceMember Price: $278.00
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F05700 - SEMI F57 - Specification for High Purity Polymer Materials and Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems
SEMI F57 - Specification for High Purity Polymer Materials and Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems Sale priceMember Price: $278.00
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E01000 - SEMI E10 - Specification for Definition and Measurement of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM) and Utilization
SEMI E10 - Specification for Definition and Measurement of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM) and Utilization Sale priceMember Price: $278.00
Non-Member Price: $369.00
S01000 - SEMI S10 - Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process
SEMI S10 - Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process Sale priceMember Price: $278.00
Non-Member Price: $369.00
F04700 - SEMI F47 - Specification for Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity
SEMI F47 - Specification for Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity Sale priceMember Price: $278.00
Non-Member Price: $369.00
E03000 - SEMI E30 - Specification for the Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E30 - Specification for the Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM) Sale price Member Price : $278.00
F06300 - SEMI F63 - Guide for Ultrapure Water Used in Semiconductor Processing
SEMI F63 - Guide for Ultrapure Water Used in Semiconductor Processing Sale priceMember Price: $278.00
Non-Member Price: $369.00