Individual SEMI Standards
Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.
SEMI F60 - 不動態化した316Lステンレス・スチール部品の接ガス表面の組成をESCAにより評価する試験方法
Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
Non-Member Price: $231.00
SEMI F62 - 周囲およびガス温度の影響からマスフローコントローラ性能特性を決定する試験方法
Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
Non-Member Price: $231.00
SEMI F64 - マスフローコントローラの指示および実流量に対する圧力影響を測定する試験方法
Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
Non-Member Price: $231.00
SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様
Regular price$360.00 USD
Sale price$231.00 USD
SEMI F66 - ステンレス製薬液容器のポート標記及び記号の仕様
Regular price$360.00 USD
Sale price$231.00 USD
SEMI F71 - ガス供給システムの温度サイクル試験方法
Regular price$300.00 USD
Sale price$231.00 USD
SEMI F72 - 不動態化処理した316Lステンレス鋼部品の接ガス表面の酸化膜のオージェ電子分光法(AES)による評価テスト方法
Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
Non-Member Price: $231.00
SEMI F73 - ステンレス鋼部品の接ガス表面状態の走査型電子顕微鏡(SEM)による評価テスト方法
Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
Non-Member Price: $231.00
SEMI F74 - ガス供給システムに使用されるメタルシール設計の性能と評価のためのテスト方法
Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
Non-Member Price: $231.00
SEMI F77 - 腐食性のガスシステムに使用される合金表面の電気化学的臨界孔食温度のテスト方法
Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
Non-Member Price: $231.00
SEMI F79 - ガス配送コンポーネントに使用されるガスのシリコンとの適合性に関するガイド
Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
Non-Member Price: $231.00
SEMI F82 - 1.125インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用マスフローコントローラ/マスフローメータの寸法のための仕様
Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
Non-Member Price: $231.00
SEMI F83 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
Non-Member Price: $231.00
SEMI F84 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
Non-Member Price: $231.00
SEMI F85 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの寸法のための仕様
Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
Non-Member Price: $231.00
Recently Published Standards
SEMI E199 - Specification for 300 mm Film Frame FOUP (FFF) Load Port
Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
Non-Member Price: $193.00
SEMI FH5 - Guide for Reliability of Flexible Hybrid Electronics
Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
Non-Member Price: $193.00
SEMI F123 - Guide for Meeting IRDS Yield Table Recommendations for High Purity Polymer Materials and Components Used in Ultrapure Water
Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
Non-Member Price: $193.00
SEMI FH6 - Terminology for Flexible Hybrid Electronics (FHE)
Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
Non-Member Price: $193.00
SEMI E197 - Specification for Large Tray Stack FOUP (LTSF)
Sale priceMember Price: $148.00
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