SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.


F06000 - SEMI F60 - 不動態化した316Lステンレス・スチール部品の接ガス表面の組成をESCAにより評価する試験方法
F06200 - SEMI F62 - 周囲およびガス温度の影響からマスフローコントローラ性能特性を決定する試験方法
F06400 - SEMI F64 - マスフローコントローラの指示および実流量に対する圧力影響を測定する試験方法
F06500 - SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様
F06600 - SEMI F66 - ステンレス製薬液容器のポート標記及び記号の仕様
F07100 - SEMI F71 - ガス供給システムの温度サイクル試験方法
SEMI F71 - ガス供給システムの温度サイクル試験方法 Regular price$300.00 USD Sale price$231.00 USD
F07200 - SEMI F72 - 不動態化処理した316Lステンレス鋼部品の接ガス表面の酸化膜のオージェ電子分光法(AES)による評価テスト方法
F07300 - SEMI F73 - ステンレス鋼部品の接ガス表面状態の走査型電子顕微鏡(SEM)による評価テスト方法
F07400 - SEMI F74 - ガス供給システムに使用されるメタルシール設計の性能と評価のためのテスト方法
F07700 - SEMI F77 - 腐食性のガスシステムに使用される合金表面の電気化学的臨界孔食温度のテスト方法
F07900 - SEMI F79 - ガス配送コンポーネントに使用されるガスのシリコンとの適合性に関するガイド
F08200 - SEMI F82 - 1.125インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用マスフローコントローラ/マスフローメータの寸法のための仕様
F08300 - SEMI F83 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
F08400 - SEMI F84 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
F08500 - SEMI F85 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの寸法のための仕様
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