SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.


F01000 - SEMI F10 - フッ素樹脂製チューブフィッティングに損傷を生じさせるのに必要な内部圧力を決定するためのテスト方法
F01100 - SEMI F11 - フッ素樹脂製チューブフィッティングの熱的特性指標を得るための試験方法
F01200 - SEMI F12 - フッ素樹脂製フィッティングの熱サイクル負荷後のシール性能決定の試験方法
F01500 - SEMI F15 - 筐体の試験方法(六フッ化硫黄のトレーサガス)のSEMI S6への移行
F01900 - SEMI F19 - ステンレススチール部品の接ガス・接液面の表面仕上げのための仕様
F02000 - SEMI F20 - 高純度および超高純度の半導体製造アプリケーションで使用される汎用コンポーネント用の316Lステンレス鋼の棒鋼,鍛造品,押出成形品,鋼板,鋼管の仕様
F02100 - SEMI F21 - 清浄な環境における空気を媒体とする分子汚染レベルの分類
F02300 - SEMI F23 - グレード10/0.2 引火性特殊ガスの粒子に関する仕様
SEMI F23 - グレード10/0.2 引火性特殊ガスの粒子に関する仕様 Sale priceMember Price: $176.00
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F02600 - SEMI F26 - グレード10/0.2 有毒特殊ガスの粒子に関する仕様
SEMI F26 - グレード10/0.2 有毒特殊ガスの粒子に関する仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F02700 - SEMI F27 - ガス配分システムおよび部品の水分相互作用および含有量の大気圧電離質量分析(APIMS)による,テスト方法
F02800 - SEMI F28 - プロセスパネルからのパーティクル発生を測定するテスト方法
F02900 - SEMI F29 - ガスソースシステムパネルのパージ効果のテスト方法
SEMI F29 - ガスソースシステムパネルのパージ効果のテスト方法 Sale priceMember Price: $176.00
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F03000 - SEMI F30 - 据付現場における微量ガス不純物およびパーティクルに関する精製器性能テストの始動および検証
F03300 - SEMI F33 - 気圧イオン化質量分析計(APIMS)の較正のためのテスト方法
F03400 - SEMI F34 - 液体化学薬品配管ラベリングに関するガイド
SEMI F34 - 液体化学薬品配管ラベリングに関するガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
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