SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.


E13600 - SEMI E136 - 半導体処理装置の高周波(RF)電力供給システムで使用されるRF電源の出力を決定するためのテスト方法
E13700 - SEMI E137 - 半導体製造装置の最終組立,梱包,輸送,開梱,クリーンルームの製造領域への移送のためのガイド
E13800 - SEMI E138 - 半導体生産系で共通に使われる情報の構成要素のXML表現
E13900 - SEMI E139 - レシピとパラメータに関する管理の規定(RaP)
SEMI E139 - レシピとパラメータに関する管理の規定(RaP) Sale priceMember Price: $176.00
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E14200 - SEMI E142 - 基板マッピングの仕様
SEMI E142 - 基板マッピングの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
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E14300 - SEMI E143 - 50Ωの負荷に対する出力変動の測定およびすべての位相角において電圧定在波比が2.0の負荷に対する出力変動とスペクトルを測定するための試験方法
E14400 - SEMI E144 - 半導体製造装置および材料ハンドリング装置におけるキャリア内のRFIDタグとRFIDリーダの間の無線インタフェースの仕様
E14500 - SEMI E145 - XMLにおける測定単位記号に関する分類
SEMI E145 - XMLにおける測定単位記号に関する分類 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E14700 - SEMI E147 - 装置データ取得(EDA)のためのガイド
SEMI E147 - 装置データ取得(EDA)のためのガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E14800 - SEMI E148 - 時刻同期とTS-CLOCKオブジェクト定義の仕様
SEMI E148 - 時刻同期とTS-CLOCKオブジェクト定義の仕様 Sale priceMember Price: $176.00
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E15100 - SEMI E151 - データ品質を理解するためのガイド
SEMI E151 - データ品質を理解するためのガイド Sale priceMember Price: $176.00
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E15200 - SEMI E152 - 150 mm EUVLレチクル用EUVポッドの機械仕様
SEMI E152 - 150 mm EUVLレチクル用EUVポッドの機械仕様 Sale priceMember Price: $176.00
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E15300 - SEMI E153 - AMHS SEMの仕様(AMHS SEM)
SEMI E153 - AMHS SEMの仕様(AMHS SEM) Sale priceMember Price: $176.00
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E15400 - SEMI E154 - 450 mmロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様
E15600 - SEMI E156 - 搬送インタフェースに対する450 mm AMHSストッカーの機械的仕様
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