SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.


E15700 - SEMI E157 - モジュールプロセストラッキングの仕様
SEMI E157 - モジュールプロセストラッキングの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E15800 - SEMI E158 - 450 mmウェーハ搬送および保管用の工場ウェーハキャリア(450FOUP)とキネマティックカプリングの機械仕様
E15900 - SEMI E159 - ウェーハの搬送及び,輸送のための多目的キャリア(MAC:Multi Application Carrier)の機械仕様
E16100 - SEMI E161 - トレーニング階層の明確化および分類に関するガイド
SEMI E161 - トレーニング階層の明確化および分類に関するガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E16200 - SEMI E162 - 450 mmフロントオープニング・シッピングボックス・ロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様
E16300 - SEMI E163 - 特別に指定されたエリア内のレチクルおよびその他の静電気超敏感性(EES:EXTREMELY ELECTROSTATIC SENSITIVE)アイテムの取り扱いのためのガイド
E16600 - SEMI E166 - 450 mmクラスタモジュール・インタフェースのための仕様:機械的インタフェースおよび搬送のスタンダード
E16900 - SEMI E169 - 装置情報システムセキュリテイのためのガイド
SEMI E169 - 装置情報システムセキュリテイのためのガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F00100 - SEMI F1 - 高純度ガス配管系および部品の漏れ完全性仕様
SEMI F1 - 高純度ガス配管系および部品の漏れ完全性仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F00400 - SEMI F4 - 空気圧動作シリンダバルブの仕様
SEMI F4 - 空気圧動作シリンダバルブの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F00500 - SEMI F5 - ガス状廃棄物処理のガイドライン
SEMI F5 - ガス状廃棄物処理のガイドライン Regular price$360.00 USD Sale price$231.00 USD
F00600 - SEMI F6 - 危険ガス配管システムの二次封じ込め(ガイドライン)F00600 - SEMI F6 - 危険ガス配管システムの二次封じ込め(ガイドライン)
F00700 - SEMI F7 - フロロカーボン製チューブフィッティング接合部の引張り強さを測定するテスト方法
F00800 - SEMI F8 - 引張り力を受けた場合のフロロカーボン製チューブ継手接合部のシール能力を評価する試験方法
F00900 - SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブフィッティング接合部の漏洩特性を測定する試験方法
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