SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

Historical Individual Standards

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M07500 - SEMI M75 - 鏡面単結晶ガリウムアンチモンスライスの仕様
SEMI M75 - 鏡面単結晶ガリウムアンチモンスライスの仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
M07400 - SEMI M74 - 直径450mmメカニカルハンドリング鏡面ウェーハの仕様
M06700 - SEMI M67 - 測定した厚さデータ配列からESFQR,ESFQD,ESBIR METRICS法を使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法
M06200 - SEMI M62 - シリコンエピタキシャルウェーハの仕様
SEMI M62 - シリコンエピタキシャルウェーハの仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
M05700 - SEMI M57 - シリコンアニールウェーハの仕様
SEMI M57 - シリコンアニールウェーハの仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
M05600 - SEMI M56 - 計量装置の測定変動と偏りに起因する費用成分の作業法
SEMI M56 - 計量装置の測定変動と偏りに起因する費用成分の作業法 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
M05500 - SEMI M55 - 鏡面単結晶シリコンカーバイドウェーハの仕様
SEMI M55 - 鏡面単結晶シリコンカーバイドウェーハの仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
M05300 - SEMI M53 - パターンのない半導体ウェーハ表面上に証明済み手法で付着した単分散標準粒子を用いた走査型表面検査システム較正の作業方法
M05000 - SEMI M50 - オーバーレイ法による走査型表面検査システム用捕獲率および偽計数率を決定するための試験方法
M04500 - SEMI M45 - 300 mmウェーハシッピングシステムに関する暫定仕様
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