SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

M06400 - SEMI M64 - 赤外線吸収スペクトル法による絶縁(SI)ガリウムヒ素単結晶内のEL2深いドナー濃度の試験方法
M06500 - SEMI M65 - 化合物半導体エピタキシャルウェーハに使用するサファイア基板の仕様
M06600 - SEMI M66 - MISフラットバンド電圧―絶縁膜厚法を使った,酸化膜,およびhigh-κゲートスタックの有効仕事関数の算出方法
M06700 - SEMI M67 - 測定した厚さデータ配列からESFQR,ESFQD,ESBIR METRICS法を使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法
M06800 - SEMI M68 - 測定した高さデータ配列から曲率法ZDDを使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法
M07000 - SEMI M70 - パーシャルサイト平坦度を使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法
M07100 - SEMI M71 - CMOS LSI用シリコン・オン・インシュレーター(SOI)ウェーハのための仕様
M07300 - SEMI M73 - 測定したウェーハエッジプロファイルから直接的関連性ある特性を抽出するテスト方法
M07400 - SEMI M74 - 直径450mmメカニカルハンドリング鏡面ウェーハの仕様
SEMI M74 - 直径450mmメカニカルハンドリング鏡面ウェーハの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
M07500 - SEMI M75 - 鏡面単結晶ガリウムアンチモンスライスの仕様
SEMI M75 - 鏡面単結晶ガリウムアンチモンスライスの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
M07600 - SEMI M76 - 開発用直径450 mmシリコン単結晶鏡面ウェーハの仕様
M07700 - SEMI M77 - ロールオフ量(ROA)を使ってウェーハのエッジ近傍形状を決定するための作業方法
M07800 - SEMI M78 - 量産時における130nmから22nm世代のパターンなしシリコンウェーハ上のナノトポグラフィー決定に関するガイド
M07900 - SEMI M79 - 太陽電池用円盤状100 mm鏡面研磨単結晶ゲルマニウムウェーハの仕様
M08000 - SEMI M80 - 450 mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング・シッピングボックスの機械仕様
View All

SEMIViews

Easy Web Access to SEMI International Standards and Safety Guidelines. SEMIViews is an annual subscription-based product for online access to SEMI Standards. SEMIViews allows password-protected access to over 1,000 Standards at your convenience. Learn More