SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

M08100 - SEMI M81 - 単結晶シリコンカーバイド基板に存在する欠陥についてのガイド
P00100 - SEMI P1 - ハードサーフェス・フォトマスク用基板
SEMI P1 - ハードサーフェス・フォトマスク用基板 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
P00200 - SEMI P2 - ハードサーフェス・フォトマスク用クロムブランク
SEMI P2 - ハードサーフェス・フォトマスク用クロムブランク Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
P00300 - SEMI P3 - レジスト付きクロムブランク
SEMI P3 - レジスト付きクロムブランク Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
P00500 - SEMI P5 - ペリクルの仕様
SEMI P5 - ペリクルの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
P00600 - SEMI P6 - フォトマスク用レジストレーションマーク
SEMI P6 - フォトマスク用レジストレーションマーク Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
P00700 - SEMI P7 - 粘性決定方法,方法A-動粘度
SEMI P7 - 粘性決定方法,方法A-動粘度 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
P00800 - SEMI P8 - フォトレジスト中の水分の測定方法
SEMI P8 - フォトレジスト中の水分の測定方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
P00900 - SEMI P9 - マイクロエレクトロニクス用レジストの機能的なテスト(ガイドライン)
P01000 - SEMI P10 - フォトマスクオーダーのデータ構造の仕様
SEMI P10 - フォトマスクオーダーのデータ構造の仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
P01100 - SEMI P11 - アルカリ現像溶液に対する全規定度の測定のテスト方法
SEMI P11 - アルカリ現像溶液に対する全規定度の測定のテスト方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
P01200 - SEMI P12 - 誘導結合プラズマ発光分光法(ICP)によるポジティブ・フォトレジスト中の鉄,亜鉛,カルシウム,マグネシウム,銅,ホウ素,アルミニウム,クロム,マンガン,及びニッケルの測定
P01300 - SEMI P13 - 原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト中におけるナトリウムとカリウムの測定
P01400 - SEMI P14 - 黒鉛炉原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト中の錫の測定
P01500 - SEMI P15 - 原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト・メタルイオンフリー(MIF)現像液中のナトリウムとカリウムの測定
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