SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

P03100 - SEMI P31 - 化学増幅型(CA)フォトレジストパラメータのカタログ発行の作業方法
P03200 - SEMI P32 - フォトレジスト中のトレースメタル定量のための試験方法
P03400 - SEMI P34 - 230mm方形フォトマスク基板の仕様
SEMI P34 - 230mm方形フォトマスク基板の仕様 Sale priceMember Price: $176.00
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P03500 - SEMI P35 - マイクロリソグラフィメトロロジの用語法
SEMI P35 - マイクロリソグラフィメトロロジの用語法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
P03600 - SEMI P36 - 測長走査型電子顕微鏡(CD-SEM)用倍率標準試料のガイド
SEMI P36 - 測長走査型電子顕微鏡(CD-SEM)用倍率標準試料のガイド Sale priceMember Price: $176.00
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P03700 - SEMI P37 - 極紫外線リソグラフィマスク基板の仕様
SEMI P37 - 極紫外線リソグラフィマスク基板の仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
P03900 - SEMI P39 - OASISTM – オープン・アートワーク・システム・インターチェンジ・スタンダード(OPEN ARTWORK SYSTEM INTERCHANGE STANDARD)
P04000 - SEMI P40 - 極紫外線リソグラフィマスクの取り付けに関する要求条件およびアライメント基準位置の仕様
P04100 - SEMI P41 - XMLによる,検査装置,修正装置およびレビュー装置間で取扱うマスク欠陥データ仕様
P04200 - SEMI P42 - ウェーハ露光システムへの自動レシピ伝送のためのレチクルデータの仕様
P04400 - SEMI P44 - マスク装置向けオープン・アートワーク・システム・インターチェンジ・スタンダード(OASIS®)の仕様
P04500 - SEMI P45 - マスク装置向けジョブデック・データフォーマットの仕様
P04600 - SEMI P46 - XMLによるフォトマスクのCD計測情報データの仕様
SEMI P46 - XMLによるフォトマスクのCD計測情報データの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
P04700 - SEMI P47 - ラインエッジラフネス(Line Edge Roughness)およびライン幅ラフネス(Line Width Roughness)測定の試験方法
PV00100 - SEMI PV1 - 高分解能グロー放電質量分析を用いたシリコン太陽電池用シリコン原料中の微量元素測定に関するテスト方法
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