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F07000 - SEMI F70 - Test Method for Determination of Particle Contribution of Gas Delivery System
F07100 - SEMI F71 - Test Method for Temperature Cycle of Gas Delivery System
SEMI F71 - Test Method for Temperature Cycle of Gas Delivery System Regular price$300.00 USD Sale price$187.00 USD
F07100 - SEMI F71 - ガス供給システムの温度サイクル試験方法
SEMI F71 - ガス供給システムの温度サイクル試験方法 Regular price$300.00 USD Sale price$224.00 USD
F07200 - SEMI F72 - Test Method for Auger Electron Spectroscopy (AES) Evaluation of Oxide Layer of Wetted Surfaces of Passivated 316L Stainless Steel Components
F07200 - SEMI F72 - 不動態化処理した316Lステンレス鋼部品の接ガス表面の酸化膜のオージェ電子分光法(AES)による評価テスト方法
F07300 - SEMI F73 - Test Method for Scanning Electron Microscopy (SEM) Evaluation of Wetted Surface Condition of Stainless Steel Components
F07300 - SEMI F73 - ステンレス鋼部品の接ガス表面状態の走査型電子顕微鏡(SEM)による評価テスト方法
F07400 - SEMI F74 - Test Method for the Performance and Evaluation of Metal Seal Designs for Use in Gas Delivery Systems
F07400 - SEMI F74 - ガス供給システムに使用されるメタルシール設計の性能と評価のためのテスト方法
F07500 - SEMI F75 - Guide for Quality Monitoring of Ultrapure Water Used in Semiconductor Manufacturing
F07600 - SEMI F76 - Test Method for Evaluation of Particle Contribution from Gas System Components Exposed to Corrosive Gas
F07700 - SEMI F77 - Test Method for Electrochemical Critical Pitting Temperature Testing of Stainless Steel Surfaces Used in Corrosive Gas Systems
F07700 - SEMI F77 - 腐食性のガスシステムに使用される合金表面の電気化学的臨界孔食温度のテスト方法
F07800 - SEMI F78 - Practice for Gas Tungsten Arc (GTA) Welding of Fluid Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Applications
F07900 - SEMI F79 - Guide for Gas Compatibility with Silicon Used in Gas Distribution Components
F07900 - SEMI F79 - ガス配送コンポーネントに使用されるガスのシリコンとの適合性に関するガイド
F08000 - SEMI F80 - Test Method for Determination of Gas Change/Purge Efficiency of Gas Delivery System
F08100 - SEMI F81 - Specification for Visual Inspection and Acceptance of Gas Tungsten Arc (GTA) Welds in Fluid Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Applications
F08200 - SEMI F82 - 1.125インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用マスフローコントローラ/マスフローメータの寸法のための仕様
F08200 - SEMI F82 - Specification for Dimension of Mass Flow Controller/Mass Flow Meter for 1.125 Inch Type Surface Mount Gas Distribution Systems
F08300 - SEMI F83 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
F08300 - SEMI F83 - Specification for Dimension of Two Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Two Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems
F08400 - SEMI F84 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
F08400 - SEMI F84 - Specification for Dimension of Three Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Two Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems