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P00600 - SEMI P6 - フォトマスク用レジストレーションマーク
SEMI P6 - フォトマスク用レジストレーションマーク Sale priceMember Price: $171.00
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P04200 - SEMI P42 - ウェーハ露光システムへの自動レシピ伝送のためのレチクルデータの仕様
SEMI P42 - ウェーハ露光システムへの自動レシピ伝送のためのレチクルデータの仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
P04100 - SEMI P41 - XMLによる，検査装置，修正装置およびレビュー装置間で取扱うマスク欠陥データ仕様
SEMI P41 - XMLによる，検査装置，修正装置およびレビュー装置間で取扱うマスク欠陥データ仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
P03400 - SEMI P34 - 230mm方形フォトマスク基板の仕様
SEMI P34 - 230mm方形フォトマスク基板の仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
P03200 - SEMI P32 - フォトレジスト中のトレースメタル定量のための試験方法
SEMI P32 - フォトレジスト中のトレースメタル定量のための試験方法 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
P03100 - SEMI P31 - Practice for Catalog Publication for Chemical Amplified (CA) Photoresist Parameter
SEMI P31 - Practice for Catalog Publication for Chemical Amplified (CA) Photoresist Parameter Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
P00300 - SEMI P3 - レジスト付きクロムブランク
SEMI P3 - レジスト付きクロムブランク Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
P00300 - SEMI P3 - Specification for Photoresist/E-Beam Resist for Hard Surface Photoplates
SEMI P3 - Specification for Photoresist/E-Beam Resist for Hard Surface Photoplates Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
P03000 - SEMI P30 - 寸法測定用走査型電子顕微鏡（CD-SEM）の目録発行の実施要領
SEMI P30 - 寸法測定用走査型電子顕微鏡（CD-SEM）の目録発行の実施要領 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
P03000 - SEMI P30 - Practice for Catalog Publication of Critical Dimension Measurement Scanning Electron Microscopes (CD-SEM)
SEMI P30 - Practice for Catalog Publication of Critical Dimension Measurement Scanning Electron Microscopes (CD-SEM) Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
P02800 - SEMI P28 - 集積回路製造用オーバーレイ計測テストパターン
SEMI P28 - 集積回路製造用オーバーレイ計測テストパターン Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
P02700 - SEMI P27 - 基板上のレジスト膜厚の測定用パラメータチェックリスト
SEMI P27 - 基板上のレジスト膜厚の測定用パラメータチェックリスト Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
P02700 - SEMI P27 - Parameter Checklist for Resist Thickness Measurement on a Substrate
SEMI P27 - Parameter Checklist for Resist Thickness Measurement on a Substrate Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
P02600 - SEMI P26 - フォトレジストの感度測定用パラメータチェックリスト
SEMI P26 - フォトレジストの感度測定用パラメータチェックリスト Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
P02500 - SEMI P25 - 焦点深度および最適焦点深度（仕様）
SEMI P25 - 焦点深度および最適焦点深度（仕様） Sale priceMember Price: $171.00
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P02500 - SEMI P25 - Specification for Measuring Depth of Focus and Best Focus
SEMI P25 - Specification for Measuring Depth of Focus and Best Focus Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
P02400 - SEMI P24 - CD測長手順
SEMI P24 - CD測長手順 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
P02300 - SEMI P23 - プログラム欠陥マスクおよびマスク欠陥検査システムの感度分析ベンチマーク手順についてのガイドライン
SEMI P23 - プログラム欠陥マスクおよびマスク欠陥検査システムの感度分析ベンチマーク手順についてのガイドライン Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
P02100 - SEMI P21 - マスク描画装置の精度表示のガイドライン
SEMI P21 - マスク描画装置の精度表示のガイドライン Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
P00200 - SEMI P2 - ハードサーフェス・フォトマスク用クロムブランク
SEMI P2 - ハードサーフェス・フォトマスク用クロムブランク Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
P02000 - SEMI P20 - EBレジストパラメータのカタログ公表のガイドライン（提案）
SEMI P20 - EBレジストパラメータのカタログ公表のガイドライン（提案） Sale priceMember Price: $171.00
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P02000 - SEMI P20 - Guideline for Catalog Publication of EB Resist Parameters (Proposal)
SEMI P20 - Guideline for Catalog Publication of EB Resist Parameters (Proposal) Sale priceMember Price: $144.00
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P01900 - SEMI P19 - 集積回路製造用メトロロジパターンセル
SEMI P19 - 集積回路製造用メトロロジパターンセル Sale priceMember Price: $171.00
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P01800 - SEMI P18 - ウェーハステッパーのオーバーレイ能力
SEMI P18 - ウェーハステッパーのオーバーレイ能力 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00