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E09700 - SEMI E97 - Provisional Specification for CIM Framework Global Declarations and Abstract Interfaces
SEMI E97 - Provisional Specification for CIM Framework Global Declarations and Abstract Interfaces Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E09700 - SEMI E97 - CIMフレームワークグローバル宣言および抽象インタフェースに関する暫定仕様
SEMI E97 - CIMフレームワークグローバル宣言および抽象インタフェースに関する暫定仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E09600 - SEMI E96 - CIMフレームワークテクニカルアーキテクチャに関するガイド
SEMI E96 - CIMフレームワークテクニカルアーキテクチャに関するガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E09600 - SEMI E96 - Guide for CIM Framework Technical Architecture
SEMI E96 - Guide for CIM Framework Technical Architecture Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E09500 - SEMI E95 - Specification for Human Interface for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI E95 - Specification for Human Interface for Semiconductor Manufacturing Equipment Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E09500 - SEMI E95 - 半導体製造装置のヒューマンインタフェースに関する仕様
SEMI E95 - 半導体製造装置のヒューマンインタフェースに関する仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E08900 - SEMI E89 - 測定システム分析（MSA）のガイド
SEMI E89 - 測定システム分析（MSA）のガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E08900 - SEMI E89 - Guide for Measurement System Analysis (MSA)
SEMI E89 - Guide for Measurement System Analysis (MSA) Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E08600 - SEMI E86 - CIMフレームワークファクトリ従業員コンポーネントに関する暫定仕様
SEMI E86 - CIMフレームワークファクトリ従業員コンポーネントに関する暫定仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E08600 - SEMI E86 - Provisional Specification for CIM Framework Factory Labor Component
SEMI E86 - Provisional Specification for CIM Framework Factory Labor Component Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E08500 - SEMI E85 - Specification for Physical AMHS Stocker to Interbay Transport System Interoperability
SEMI E85 - Specification for Physical AMHS Stocker to Interbay Transport System Interoperability Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E08100 - SEMI E81 - Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture
SEMI E81 - Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E08100 - SEMI E81 - CIMフレームワークドメインアーキテクチャに関する暫定仕様
SEMI E81 - CIMフレームワークドメインアーキテクチャに関する暫定仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E07400 - SEMI E74 - Specification for Vacuum Pump Interfaces - Turbomolecular Pumps
SEMI E74 - Specification for Vacuum Pump Interfaces - Turbomolecular Pumps Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E07400 - SEMI E74 - 真空ポンプのインタフェースの仕様　－　ターボモレキュラーポンプ
SEMI E74 - 真空ポンプのインタフェースの仕様　－　ターボモレキュラーポンプ Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E07300 - SEMI E73 - 真空ポンプのインタフェースの仕様　－　ドライポンプ
SEMI E73 - 真空ポンプのインタフェースの仕様　－　ドライポンプ Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E07300 - SEMI E73 - Specification for Vacuum Pump Interfaces - Dry Pumps
SEMI E73 - Specification for Vacuum Pump Interfaces - Dry Pumps Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E06400 - SEMI E64 - Specification for 300 mm Cart to SEMI E15.1 Docking Interface Port
SEMI E64 - Specification for 300 mm Cart to SEMI E15.1 Docking Interface Port Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E06400 - SEMI E64 - SEMI E15.1ドッキングインタフェースポートと300 mmカートの仕様
SEMI E64 - SEMI E15.1ドッキングインタフェースポートと300 mmカートの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E06200 - SEMI E62 - 300 mmフロントオープニング・メカニカルインタフェース（FIMS）の仕様
SEMI E62 - 300 mmフロントオープニング・メカニカルインタフェース（FIMS）の仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E06200 - SEMI E62 - Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)
SEMI E62 - Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS) Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E05800 - SEMI E58 - Automated Reliability, Availability, and Maintainability Standard (ARAMS): Concepts, Behavior, and Services
SEMI E58 - Automated Reliability, Availability, and Maintainability Standard (ARAMS): Concepts, Behavior, and Services Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E05800 - SEMI E58 - 自動化による信頼性，有用性，および整備性に関するスタンダード（ARAMS）：コンセプト，挙動，およびサービス
SEMI E58 - 自動化による信頼性，有用性，および整備性に関するスタンダード（ARAMS）：コンセプト，挙動，およびサービス Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E05409 - SEMI E54.9 - TCP/IPでのMODBUS/TCPのためのセンサ／アクチュエータ・ネットワーク通信に関する仕様
SEMI E54.9 - TCP/IPでのMODBUS/TCPのためのセンサ／アクチュエータ・ネットワーク通信に関する仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
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