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F09000 - SEMI F90 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用スタンダードサイズ2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
F08900 - SEMI F89 - 1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズマスフローコントローラ/マスフローメータの寸法のための仕様
F08800 - SEMI F88 - 1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用スタンダードサイズマスフローコントローラ/マスフローメータの寸法のための仕様
F08700 - SEMI F87 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
F08600 - SEMI F86 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
F08500 - SEMI F85 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの寸法のための仕様
F08400 - SEMI F84 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
F08300 - SEMI F83 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
F08200 - SEMI F82 - 1.125インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用マスフローコントローラ/マスフローメータの寸法のための仕様
F00800 - SEMI F8 - Test Method for Evaluating the Sealing Capabilities of Tube Fitting Connections Made of Fluorocarbon Materials, When Subjected to Tensile Forces
F00800 - SEMI F8 - 引張り力を受けた場合のフロロカーボン製チューブ継手接合部のシール能力を評価する試験方法
F00700 - SEMI F7 - フロロカーボン製チューブフィッティング接合部の引張り強さを測定するテスト方法
F00700 - SEMI F7 - Test Method to Determine the Tensile Strength of Tube Fitting Connections Made of Fluorocarbon Materials
F00600 - SEMI F6 - 危険ガス配管システムの二次封じ込め(ガイドライン)F00600 - SEMI F6 - 危険ガス配管システムの二次封じ込め(ガイドライン)
F06600 - SEMI F66 - Specification for Port Marking and Symbol of Stainless Steel Vessels for Liquid Chemicals
F06600 - SEMI F66 - ステンレス製薬液容器のポート標記及び記号の仕様
F06500 - SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様
F06500 - SEMI F65 - Dimensional Specification for Mounting Bases of Diaphragm Valves Used with Metric PFA Tubes
F05800 - SEMI F58 - Test Method for Determination of Moisture Dry-Down Characteristics of Surface-Mounted and Conventional Gas Delivery Systems by Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometry (APIMS)
F05800 - SEMI F58 - 大気圧イオン化質量分析計(APIMS)による表面実装および一般的ガス供給システムの水分ドライダウン特性測定のためのテスト方法
F05200 - SEMI F52 - 半導体及びFPD製造の薬液供給システム用メトリックPFAチューブの寸法仕様
F00500 - SEMI F5 - ガス状廃棄物処理のガイドライン
SEMI F5 - ガス状廃棄物処理のガイドライン Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F04600 - SEMI F46 -
SEMI F46 - Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $180.00
F04600 - SEMI F46 - Guide for On-Site Chemical Generation (OSCG) Systems
SEMI F46 - Guide for On-Site Chemical Generation (OSCG) Systems Regular price$300.00 USD Sale price$187.00 USD