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F00400 - SEMI F4 - Specification for Pneumatically Actuated Cylinder Valves
SEMI F4 - Specification for Pneumatically Actuated Cylinder Valves Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F03500 - SEMI F35 - 非浸入式酸素測定を使用した超高純度ガス分配システムの安全性を確認するためのテスト方法
F03300 - SEMI F33 - 気圧イオン化質量分析計(APIMS)の較正のためのテスト方法
F03300 - SEMI F33 - Test Method for Calibration of Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometer (APIMS)
F02700 - SEMI F27 - ガス配分システムおよび部品の水分相互作用および含有量の大気圧電離質量分析(APIMS)による,テスト方法
F01800 - SEMI F18 - Guide for Determining the Hydrostatic Strength of, and Design Basis for, Thermoplastic Pipe and Tubing
F01200 - SEMI F12 - フッ素樹脂製フィッティングの熱サイクル負荷後のシール性能決定の試験方法
F01200 - SEMI F12 - Test Method to Determine the Sealing Capabilities of Fittings, Made of Fluorocarbon Material, after Being Subjected to a Heat Cycle
F01100 - SEMI F11 - Test Method to Obtain an Indication of the Thermal Characteristics of Tube Fitting Connections Made of Fluorocarbon Materials
F01100 - SEMI F11 - フッ素樹脂製チューブフィッティングの熱的特性指標を得るための試験方法
F10800 - SEMI F108 - Guide for Integration of Liquid Chemical Piping Components for Semiconductor, Flat Panel Display, and Solar Cell Manufacturing Applications
F10600 - SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法
F10300 - SEMI F103 - ステンレススチール製液体原料容器(キャニスター)の形状の仕様
F01000 - SEMI F10 - フッ素樹脂製チューブフィッティングに損傷を生じさせるのに必要な内部圧力を決定するためのテスト方法
F10000 - SEMI F100 - Compliance Test Method for Minimum Flow Coefficient of Diaphragm Valve for Metric PFA Tube
E09800 - SEMI E98 - オブジェクトベース装置モデル(OBEM)暫定スタンダード
E09700 - SEMI E97 - Provisional Specification for CIM Framework Global Declarations and Abstract Interfaces
E09700 - SEMI E97 - CIMフレームワークグローバル宣言および抽象インタフェースに関する暫定仕様
E09600 - SEMI E96 - CIMフレームワークテクニカルアーキテクチャに関するガイド
E09600 - SEMI E96 - Guide for CIM Framework Technical Architecture
SEMI E96 - Guide for CIM Framework Technical Architecture Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
E09500 - SEMI E95 - 半導体製造装置のヒューマンインタフェースに関する仕様
E08900 - SEMI E89 - 測定システム分析(MSA)のガイド
SEMI E89 - 測定システム分析(MSA)のガイド Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E08600 - SEMI E86 - CIMフレームワークファクトリ従業員コンポーネントに関する暫定仕様
E08600 - SEMI E86 - Provisional Specification for CIM Framework Factory Labor Component
SEMI E86 - Provisional Specification for CIM Framework Factory Labor Component Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00