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E13000 - SEMI E130 - 300mm環境のプローバ専用装置モデル（PSEM300）に関する仕様
SEMI E130 - 300mm環境のプローバ専用装置モデル（PSEM300）に関する仕様 Sale priceMember Price: $176.00
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E12600 - SEMI E126 - 装置品質情報パラメータ（EQIP）に関する仕様
SEMI E126 - 装置品質情報パラメータ（EQIP）に関する仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E12500 - SEMI E125 - 装置自己記述（EqSD）の仕様
SEMI E125 - 装置自己記述（EqSD）の仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E12200 - SEMI E122 - テスト装置の特定装置モデル（TSEM）のスタンダード
SEMI E122 - テスト装置の特定装置モデル（TSEM）のスタンダード Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E12100 - SEMI E121 - 半導体製造への応用に関するXMLスタイルと利用のガイド
SEMI E121 - 半導体製造への応用に関するXMLスタイルと利用のガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E12000 - SEMI E120 - 共通装置モデル（CEM）の仕様
SEMI E120 - 共通装置モデル（CEM）の仕様 Sale priceMember Price: $176.00
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E11600 - SEMI E116 - 装置性能トラッキング（EPT）のための仕様
SEMI E116 - 装置性能トラッキング（EPT）のための仕様 Sale priceMember Price: $176.00
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E10900 - SEMI E109 - レチクルおよびポッド管理に関する仕様(RPMS)
SEMI E109 - レチクルおよびポッド管理に関する仕様(RPMS) Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E09800 - SEMI E98 - オブジェクトベース装置モデル（OBEM）暫定スタンダード
SEMI E98 - オブジェクトベース装置モデル（OBEM）暫定スタンダード Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E09800 - SEMI E98 - Provisional Standard for the Object-Based Equipment Model (OBEM)
SEMI E98 - Provisional Standard for the Object-Based Equipment Model (OBEM) Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E09700 - SEMI E97 - Provisional Specification for CIM Framework Global Declarations and Abstract Interfaces
SEMI E97 - Provisional Specification for CIM Framework Global Declarations and Abstract Interfaces Sale priceMember Price: $148.00
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E09700 - SEMI E97 - CIMフレームワークグローバル宣言および抽象インタフェースに関する暫定仕様
SEMI E97 - CIMフレームワークグローバル宣言および抽象インタフェースに関する暫定仕様 Sale priceMember Price: $176.00
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E09600 - SEMI E96 - CIMフレームワークテクニカルアーキテクチャに関するガイド
SEMI E96 - CIMフレームワークテクニカルアーキテクチャに関するガイド Sale priceMember Price: $176.00
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E09600 - SEMI E96 - Guide for CIM Framework Technical Architecture
SEMI E96 - Guide for CIM Framework Technical Architecture Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E09500 - SEMI E95 - Specification for Human Interface for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI E95 - Specification for Human Interface for Semiconductor Manufacturing Equipment Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E09500 - SEMI E95 - 半導体製造装置のヒューマンインタフェースに関する仕様
SEMI E95 - 半導体製造装置のヒューマンインタフェースに関する仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E08600 - SEMI E86 - CIMフレームワークファクトリ従業員コンポーネントに関する暫定仕様
SEMI E86 - CIMフレームワークファクトリ従業員コンポーネントに関する暫定仕様 Sale priceMember Price: $176.00
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E08600 - SEMI E86 - Provisional Specification for CIM Framework Factory Labor Component
SEMI E86 - Provisional Specification for CIM Framework Factory Labor Component Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E08100 - SEMI E81 - Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture
SEMI E81 - Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture Sale priceMember Price: $148.00
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E08100 - SEMI E81 - CIMフレームワークドメインアーキテクチャに関する暫定仕様
SEMI E81 - CIMフレームワークドメインアーキテクチャに関する暫定仕様 Sale priceMember Price: $176.00
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E05800 - SEMI E58 - Automated Reliability, Availability, and Maintainability Standard (ARAMS): Concepts, Behavior, and Services
SEMI E58 - Automated Reliability, Availability, and Maintainability Standard (ARAMS): Concepts, Behavior, and Services Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E05800 - SEMI E58 - 自動化による信頼性，有用性，および整備性に関するスタンダード（ARAMS）：コンセプト，挙動，およびサービス
SEMI E58 - 自動化による信頼性，有用性，および整備性に関するスタンダード（ARAMS）：コンセプト，挙動，およびサービス Sale priceMember Price: $176.00
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E05409 - SEMI E54.9 - TCP/IPでのMODBUS/TCPのためのセンサ／アクチュエータ・ネットワーク通信に関する仕様
SEMI E54.9 - TCP/IPでのMODBUS/TCPのためのセンサ／アクチュエータ・ネットワーク通信に関する仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E05409 - SEMI E54.9 - Specification for Sensor/Actuator Network Communication for Modbus/TCP Over TCP/IP
SEMI E54.9 - Specification for Sensor/Actuator Network Communication for Modbus/TCP Over TCP/IP Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00