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E05200 - SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表
SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E05200 - SEMI E52 - Practice for Referencing Gases, Gas Mixtures, and Vaporizable Materials Used in Digital Mass Flow Controllers
SEMI E52 - Practice for Referencing Gases, Gas Mixtures, and Vaporizable Materials Used in Digital Mass Flow Controllers Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E04900 - SEMI E49 - 高純度および超高純度配管システムの性能，サブアセンブリ，最終組立のためのガイド
SEMI E49 - 高純度および超高純度配管システムの性能，サブアセンブリ，最終組立のためのガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E04800 - SEMI E48 - SMIFインデクサ用空間のための仕様
SEMI E48 - SMIFインデクサ用空間のための仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E03501 - SEMI E35.1 - Guide for Cost of Equipment Ownership Comparison Metric
SEMI E35.1 - Guide for Cost of Equipment Ownership Comparison Metric Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E03500 - SEMI E35 - 半導体製造装置のCOO測定方法の計算ガイド
SEMI E35 - 半導体製造装置のCOO測定方法の計算ガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E03400 - SEMI E34 - マスフローデバイス返還のためのガイドライン
SEMI E34 - マスフローデバイス返還のためのガイドライン Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E03300 - SEMI E33 - 半導体製造装置の電磁適合性（EMC）のためのガイド
SEMI E33 - 半導体製造装置の電磁適合性（EMC）のためのガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E02900 - SEMI E29 - マスフローコントローラ及びマスフローメータの校正のための標準用語
SEMI E29 - マスフローコントローラ及びマスフローメータの校正のための標準用語 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E02800 - SEMI E28 - マスフローコントローラの圧力仕様のガイドライン
SEMI E28 - マスフローコントローラの圧力仕様のガイドライン Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E02700 - SEMI E27 - マスフローコントローラおよびマスフローメータの直線性のガイド
SEMI E27 - マスフローコントローラおよびマスフローメータの直線性のガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E02600 - SEMI E26 - Radial Cluster Tool Footprint Standard
SEMI E26 - Radial Cluster Tool Footprint Standard Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E02400 - SEMI E24 - Cluster Tool Module Interface: Isolation Valve Interlocks Standard
SEMI E24 - Cluster Tool Module Interface: Isolation Valve Interlocks Standard Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E02400 - SEMI E24 - クラスタツール・モジュール・インタフェース： 隔離バルブインタロックのスタンダード
SEMI E24 - クラスタツール・モジュール・インタフェース： 隔離バルブインタロックのスタンダード Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E02000 - SEMI E20 - Cluster Tool Module Interface: Electrical Power and Emergency Off Standard
SEMI E20 - Cluster Tool Module Interface: Electrical Power and Emergency Off Standard Sale price Member Price : $148.00
E01905 - SEMI E19.5 - Specification for 300 mm Bottom-Opening Standard Mechanical Interface (SMIF)
SEMI E19.5 - Specification for 300 mm Bottom-Opening Standard Mechanical Interface (SMIF) Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E01700 - SEMI E17 - マスフローコントローラの過渡特性テストのガイド
SEMI E17 - マスフローコントローラの過渡特性テストのガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E16300 - SEMI E163 - 特別に指定されたエリア内のレチクルおよびその他の静電気超敏感性（EES：EXTREMELY ELECTROSTATIC SENSITIVE）アイテムの取り扱いのためのガイド
SEMI E163 - 特別に指定されたエリア内のレチクルおよびその他の静電気超敏感性（EES：EXTREMELY ELECTROSTATIC SENSITIVE）アイテムの取り扱いのためのガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E01600 - SEMI E16 - マスフローコントローラ漏洩率の決定および記述のガイド
SEMI E16 - マスフローコントローラ漏洩率の決定および記述のガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E15900 - SEMI E159 - ウェーハの搬送及び，輸送のための多目的キャリア(MAC：Multi Application Carrier)の機械仕様
SEMI E159 - ウェーハの搬送及び，輸送のための多目的キャリア(MAC：Multi Application Carrier)の機械仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E15800 - SEMI E158 - 450 mmウェーハ搬送および保管用の工場ウェーハキャリア（450FOUP）とキネマティックカプリングの機械仕様
SEMI E158 - 450 mmウェーハ搬送および保管用の工場ウェーハキャリア（450FOUP）とキネマティックカプリングの機械仕様 Sale price Member Price : $176.00
E15600 - SEMI E156 - 搬送インタフェースに対する450 mm AMHSストッカーの機械的仕様
SEMI E156 - 搬送インタフェースに対する450 mm AMHSストッカーの機械的仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E15400 - SEMI E154 - 450 mmロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様
SEMI E154 - 450 mmロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E14300 - SEMI E143 - 50Ωの負荷に対する出力変動の測定およびすべての位相角において電圧定在波比が2.0の負荷に対する出力変動とスペクトルを測定するための試験方法
SEMI E143 - 50Ωの負荷に対する出力変動の測定およびすべての位相角において電圧定在波比が2.0の負荷に対する出力変動とスペクトルを測定するための試験方法 Sale priceMember Price: $176.00
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