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F06500 - SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様
SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様 Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F05800 - SEMI F58 - Test Method for Determination of Moisture Dry-Down Characteristics of Surface-Mounted and Conventional Gas Delivery Systems by Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometry (APIMS)
SEMI F58 - Test Method for Determination of Moisture Dry-Down Characteristics of Surface-Mounted and Conventional Gas Delivery Systems by Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometry (APIMS) Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F05800 - SEMI F58 - 大気圧イオン化質量分析計（APIMS）による表面実装および一般的ガス供給システムの水分ドライダウン特性測定のためのテスト方法
SEMI F58 - 大気圧イオン化質量分析計（APIMS）による表面実装および一般的ガス供給システムの水分ドライダウン特性測定のためのテスト方法 Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F05200 - SEMI F52 - 半導体及びFPD製造の薬液供給システム用メトリックPFAチューブの寸法仕様
SEMI F52 - 半導体及びFPD製造の薬液供給システム用メトリックPFAチューブの寸法仕様 Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F00500 - SEMI F5 - ガス状廃棄物処理のガイドライン
SEMI F5 - ガス状廃棄物処理のガイドライン Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F04600 - SEMI F46 -
SEMI F46 - Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $180.00
F04600 - SEMI F46 - Guide for On-Site Chemical Generation (OSCG) Systems
SEMI F46 - Guide for On-Site Chemical Generation (OSCG) Systems Regular price$300.00 USD Sale price$187.00 USD
F00400 - SEMI F4 - Specification for Pneumatically Actuated Cylinder Valves
SEMI F4 - Specification for Pneumatically Actuated Cylinder Valves Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F03500 - SEMI F35 - 非浸入式酸素測定を使用した超高純度ガス分配システムの安全性を確認するためのテスト方法
SEMI F35 - 非浸入式酸素測定を使用した超高純度ガス分配システムの安全性を確認するためのテスト方法 Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F03300 - SEMI F33 - 気圧イオン化質量分析計（APIMS）の較正のためのテスト方法
SEMI F33 - 気圧イオン化質量分析計（APIMS）の較正のためのテスト方法 Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F03300 - SEMI F33 - Test Method for Calibration of Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometer (APIMS)
SEMI F33 - Test Method for Calibration of Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometer (APIMS) Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F02700 - SEMI F27 - ガス配分システムおよび部品の水分相互作用および含有量の大気圧電離質量分析（APIMS）による，テスト方法
SEMI F27 - ガス配分システムおよび部品の水分相互作用および含有量の大気圧電離質量分析（APIMS）による，テスト方法 Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F01800 - SEMI F18 - Guide for Determining the Hydrostatic Strength of, and Design Basis for, Thermoplastic Pipe and Tubing
SEMI F18 - Guide for Determining the Hydrostatic Strength of, and Design Basis for, Thermoplastic Pipe and Tubing Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F01200 - SEMI F12 - フッ素樹脂製フィッティングの熱サイクル負荷後のシール性能決定の試験方法
SEMI F12 - フッ素樹脂製フィッティングの熱サイクル負荷後のシール性能決定の試験方法 Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F01100 - SEMI F11 - フッ素樹脂製チューブフィッティングの熱的特性指標を得るための試験方法
SEMI F11 - フッ素樹脂製チューブフィッティングの熱的特性指標を得るための試験方法 Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F10800 - SEMI F108 - Guide for Integration of Liquid Chemical Piping Components for Semiconductor, Flat Panel Display, and Solar Cell Manufacturing Applications
SEMI F108 - Guide for Integration of Liquid Chemical Piping Components for Semiconductor, Flat Panel Display, and Solar Cell Manufacturing Applications Regular price$300.00 USD Sale price$187.00 USD
F10600 - SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法
SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法 Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F10300 - SEMI F103 - ステンレススチール製液体原料容器（キャニスター）の形状の仕様
SEMI F103 - ステンレススチール製液体原料容器（キャニスター）の形状の仕様 Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F01000 - SEMI F10 - フッ素樹脂製チューブフィッティングに損傷を生じさせるのに必要な内部圧力を決定するためのテスト方法
SEMI F10 - フッ素樹脂製チューブフィッティングに損傷を生じさせるのに必要な内部圧力を決定するためのテスト方法 Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
E09800 - SEMI E98 - オブジェクトベース装置モデル（OBEM）暫定スタンダード
SEMI E98 - オブジェクトベース装置モデル（OBEM）暫定スタンダード Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E09700 - SEMI E97 - Provisional Specification for CIM Framework Global Declarations and Abstract Interfaces
SEMI E97 - Provisional Specification for CIM Framework Global Declarations and Abstract Interfaces Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
E09700 - SEMI E97 - CIMフレームワークグローバル宣言および抽象インタフェースに関する暫定仕様
SEMI E97 - CIMフレームワークグローバル宣言および抽象インタフェースに関する暫定仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E09600 - SEMI E96 - CIMフレームワークテクニカルアーキテクチャに関するガイド
SEMI E96 - CIMフレームワークテクニカルアーキテクチャに関するガイド Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E08600 - SEMI E86 - CIMフレームワークファクトリ従業員コンポーネントに関する暫定仕様
SEMI E86 - CIMフレームワークファクトリ従業員コンポーネントに関する暫定仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00