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E04100 - SEMI E41 - 例外処理スタンダード
SEMI E41 - 例外処理スタンダード Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E03600 - SEMI E36 - 半導体装置製造情報タグ付け仕様
SEMI E36 - 半導体装置製造情報タグ付け仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E03400 - SEMI E34 - Safety Guideline for Mass Flow Device Removal and Shipment
SEMI E34 - Safety Guideline for Mass Flow Device Removal and Shipment Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
E03200 - SEMI E32 - 材料搬送管理スタンダード（MMM）
SEMI E32 - 材料搬送管理スタンダード（MMM） Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E02300 - SEMI E23 - カセット搬送パラレルI/Oインタフェースのための仕様
SEMI E23 - カセット搬送パラレルI/Oインタフェースのための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E16200 - SEMI E162 - 450 mmフロントオープニング・シッピングボックス・ロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様
SEMI E162 - 450 mmフロントオープニング・シッピングボックス・ロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E16200 - SEMI E162 - Mechanical Interface Specification for 450 mm Front-Opening Shipping Box Load Port
SEMI E162 - Mechanical Interface Specification for 450 mm Front-Opening Shipping Box Load Port Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
E16100 - SEMI E161 - トレーニング階層の明確化および分類に関するガイド
SEMI E161 - トレーニング階層の明確化および分類に関するガイド Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E14700 - SEMI E147 - 装置データ取得（EDA）のためのガイド
SEMI E147 - 装置データ取得（EDA）のためのガイド Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E14600 - SEMI E146 - Test Method for the Determination of Particulate Contamination from Minienvironments used for Storage and Transport of Silicon Wafers
SEMI E146 - Test Method for the Determination of Particulate Contamination from Minienvironments used for Storage and Transport of Silicon Wafers Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
E14400 - SEMI E144 - 半導体製造装置および材料ハンドリング装置におけるキャリア内のRFIDタグとRFIDリーダの間の無線インタフェースの仕様
SEMI E144 - 半導体製造装置および材料ハンドリング装置におけるキャリア内のRFIDタグとRFIDリーダの間の無線インタフェースの仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E14100 - SEMI E141 - Guide for Specification of Ellipsometer Equipment for Use in Integrated Metrology
SEMI E141 - Guide for Specification of Ellipsometer Equipment for Use in Integrated Metrology Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
E13100 - SEMI E131 - Specification for the Physical Interface of an Integrated Measurement Module (IMM) into 300 mm Tools Using Bolts-M
SEMI E131 - Specification for the Physical Interface of an Integrated Measurement Module (IMM) into 300 mm Tools Using Bolts-M Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
E12700 - SEMI E127 - 装置組込み計測モジュール通信の仕様：概念，挙動，サービス（IMMC）
SEMI E127 - 装置組込み計測モジュール通信の仕様：概念，挙動，サービス（IMMC） Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E12400 - SEMI E124 - 総合工場効率（OFE）およびその他の工場レベルの生産性測定基準の定義とその計算法についてのガイド
SEMI E124 - 総合工場効率（OFE）およびその他の工場レベルの生産性測定基準の定義とその計算法についてのガイド Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E11900 - SEMI E119 - 300 mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス（FOBIT）の機械仕様
SEMI E119 - 300 mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス（FOBIT）の機械仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E11800 - SEMI E118 - ウェーハIDリーダ通信インタフェースの仕様 — ウェーハIDリーダの機能スタンダード: 概念，動作，サービス
SEMI E118 - ウェーハIDリーダ通信インタフェースの仕様 — ウェーハIDリーダの機能スタンダード: 概念，動作，サービス Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E11800 - SEMI E118 - Specification for Wafer ID Reader Communication Interface -- The Wafer ID Reader Functional Standard: Concepts, Behavior and Service
SEMI E118 - Specification for Wafer ID Reader Communication Interface -- The Wafer ID Reader Functional Standard: Concepts, Behavior and Service Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
E10700 - SEMI E107 - 歩留まり管理システムに電気的不良データを渡すためのデータフォーマット
SEMI E107 - 歩留まり管理システムに電気的不良データを渡すためのデータフォーマット Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E10700 - SEMI E107 - Specification of Electric Failure LInk Data Format for Yield Management System
SEMI E107 - Specification of Electric Failure LInk Data Format for Yield Management System Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
E10500 - SEMI E105 - Provisional Specification for CIM Framework Scheduling Component
SEMI E105 - Provisional Specification for CIM Framework Scheduling Component Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
E10500 - SEMI E105 - CIMフレームワークスケジューリングコンポーネントのための暫定仕様
SEMI E105 - CIMフレームワークスケジューリングコンポーネントのための暫定仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E10400 - SEMI E104 - Specification for Integration and Guideline for Calibration of Low-pressure Particle Monitor
SEMI E104 - Specification for Integration and Guideline for Calibration of Low-pressure Particle Monitor Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
E10200 - SEMI E102 - CIMフレームワークマテリアル搬送・格納コンポーネントに関する暫定仕様
SEMI E102 - CIMフレームワークマテリアル搬送・格納コンポーネントに関する暫定仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00