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E08200 - SEMI E82 - 工程間／工程内AMHS SEMの仕様（IBSEM）
SEMI E82 - 工程間／工程内AMHS SEMの仕様（IBSEM） Sale priceMember Price: $171.00
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E07200 - SEMI E72 - 300 mm装置の床面積，高さ，重量の仕様ならびにガイド
SEMI E72 - 300 mm装置の床面積，高さ，重量の仕様ならびにガイド Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E06700 - SEMI E67 - マスフローコントローラの信頼性測定のためのテスト方法
SEMI E67 - マスフローコントローラの信頼性測定のためのテスト方法 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E06600 - SEMI E66 - マスフローコントローラのパーティクル発生測定のテスト方法
SEMI E66 - マスフローコントローラのパーティクル発生測定のテスト方法 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E05600 - SEMI E56 - 熱マスフローコントローラの精度，直線性，リピータビリティ，短期再現性，ヒステリシス（履歴現象）およびデッドバンドを判断するテスト方法
SEMI E56 - 熱マスフローコントローラの精度，直線性，リピータビリティ，短期再現性，ヒステリシス（履歴現象）およびデッドバンドを判断するテスト方法 Sale priceMember Price: $171.00
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E05421 - SEMI E54.21 - MOTIONNET®用センサ／アクチュエータネットワーク（SAN）通信に関する仕様
SEMI E54.21 - MOTIONNET®用センサ／アクチュエータネットワーク（SAN）通信に関する仕様 Sale priceMember Price: $171.00
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E05419 - SEMI E54.19 - MECHATROLINKに関するセンサ／アクチュエータネットワークの仕様
SEMI E54.19 - MECHATROLINKに関するセンサ／アクチュエータネットワークの仕様 Sale priceMember Price: $171.00
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E05417 - SEMI E54.17 - A-LINKに関するセンサ／アクチュエータネットワークの規定
SEMI E54.17 - A-LINKに関するセンサ／アクチュエータネットワークの規定 Sale priceMember Price: $171.00
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E05410 - SEMI E54.10 - in-situパーティクルモニターデバイスのためのセンサ/アクチュエータネットワーク特定デバイスモデルの仕様
SEMI E54.10 - in-situパーティクルモニターデバイスのためのセンサ/アクチュエータネットワーク特定デバイスモデルの仕様 Sale priceMember Price: $171.00
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E05400 - SEMI E54 - センサ／アクチュエータネットワークのスタンダード
SEMI E54 - センサ／アクチュエータネットワークのスタンダード Sale priceMember Price: $171.00
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E05200 - SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表
SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E05200 - SEMI E52 - Practice for Referencing Gases, Gas Mixtures, and Vaporizable Materials Used in Digital Mass Flow Controllers
SEMI E52 - Practice for Referencing Gases, Gas Mixtures, and Vaporizable Materials Used in Digital Mass Flow Controllers Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
E00500 - SEMI E5 - SEMI 장비 커뮤니케이션 표준2 메세지 내용
SEMI E5 - SEMI 장비 커뮤니케이션 표준2 메세지 내용 Sale priceMember Price: $144.00
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E04900 - SEMI E49 - 高純度および超高純度配管システムの性能，サブアセンブリ，最終組立のためのガイド
SEMI E49 - 高純度および超高純度配管システムの性能，サブアセンブリ，最終組立のためのガイド Sale priceMember Price: $171.00
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E04800 - SEMI E48 - SMIFインデクサ用空間のための仕様
SEMI E48 - SMIFインデクサ用空間のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E04000 - SEMI E40 - 프로세싱 관리 표준
SEMI E40 - 프로세싱 관리 표준 Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
E04000 - SEMI E40 - プロセス管理スタンダード
SEMI E40 - プロセス管理スタンダード Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
E00400 - SEMI E4 - 半導体製造装置通信スタンダード1　メッセージトランスファ（SECS-I）
SEMI E4 - 半導体製造装置通信スタンダード1　メッセージトランスファ（SECS-I） Sale priceMember Price: $171.00
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E03900 - SEMI E39 - 객체 서비스 표준: 컨셉트, 동작, 서비스
SEMI E39 - 객체 서비스 표준: 컨셉트, 동작, 서비스 Sale priceMember Price: $144.00
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E03900 - SEMI E39 - オブジェクトサービス･スタンダード：概念，挙動およびサービス
SEMI E39 - オブジェクトサービス･スタンダード：概念，挙動およびサービス Sale priceMember Price: $171.00
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E03800 - SEMI E38 - Cluster Tool Module Communications (CTMC)
SEMI E38 - Cluster Tool Module Communications (CTMC) Sale priceMember Price: $144.00
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E03700 - SEMI E37 - HSMS의 일반적 서비스(HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES (HSMS) GENERIC SERVICES)
SEMI E37 - HSMS의 일반적 서비스(HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES (HSMS) GENERIC SERVICES) Sale priceMember Price: $144.00
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E03700 - SEMI E37 - 高速SECSメッセージサービス（HSMS）汎用サービス
SEMI E37 - 高速SECSメッセージサービス（HSMS）汎用サービス Sale priceMember Price: $334.00
Non-Member Price: $444.00
E03501 - SEMI E35.1 - Guide for Cost of Equipment Ownership Comparison Metric
SEMI E35.1 - Guide for Cost of Equipment Ownership Comparison Metric Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00