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E05200 - SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表
SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E05200 - SEMI E52 - Practice for Referencing Gases, Gas Mixtures, and Vaporizable Materials Used in Digital Mass Flow Controllers
SEMI E52 - Practice for Referencing Gases, Gas Mixtures, and Vaporizable Materials Used in Digital Mass Flow Controllers Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E00500 - SEMI E5 - SEMI 장비 커뮤니케이션 표준2 메세지 내용
SEMI E5 - SEMI 장비 커뮤니케이션 표준2 메세지 내용 Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E04900 - SEMI E49 - 高純度および超高純度配管システムの性能，サブアセンブリ，最終組立のためのガイド
SEMI E49 - 高純度および超高純度配管システムの性能，サブアセンブリ，最終組立のためのガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E04800 - SEMI E48 - SMIFインデクサ用空間のための仕様
SEMI E48 - SMIFインデクサ用空間のための仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E04000 - SEMI E40 - 프로세싱 관리 표준
SEMI E40 - 프로세싱 관리 표준 Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E04000 - SEMI E40 - プロセス管理スタンダード
SEMI E40 - プロセス管理スタンダード Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E00400 - SEMI E4 - 半導体製造装置通信スタンダード1　メッセージトランスファ（SECS-I）
SEMI E4 - 半導体製造装置通信スタンダード1　メッセージトランスファ（SECS-I） Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E03900 - SEMI E39 - 객체 서비스 표준: 컨셉트, 동작, 서비스
SEMI E39 - 객체 서비스 표준: 컨셉트, 동작, 서비스 Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E03900 - SEMI E39 - オブジェクトサービス･スタンダード：概念，挙動およびサービス
SEMI E39 - オブジェクトサービス･スタンダード：概念，挙動およびサービス Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E03800 - SEMI E38 - Cluster Tool Module Communications (CTMC)
SEMI E38 - Cluster Tool Module Communications (CTMC) Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E03700 - SEMI E37 - HSMS의 일반적 서비스(HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES (HSMS) GENERIC SERVICES)
SEMI E37 - HSMS의 일반적 서비스(HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES (HSMS) GENERIC SERVICES) Sale priceMember Price: $148.00
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E03700 - SEMI E37 - 高速SECSメッセージサービス（HSMS）汎用サービス
SEMI E37 - 高速SECSメッセージサービス（HSMS）汎用サービス Sale priceMember Price: $344.00
Non-Member Price: $457.00
E03501 - SEMI E35.1 - Guide for Cost of Equipment Ownership Comparison Metric
SEMI E35.1 - Guide for Cost of Equipment Ownership Comparison Metric Sale priceMember Price: $148.00
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E03500 - SEMI E35 - 半導体製造装置のCOO測定方法の計算ガイド
SEMI E35 - 半導体製造装置のCOO測定方法の計算ガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E03400 - SEMI E34 - マスフローデバイス返還のためのガイドライン
SEMI E34 - マスフローデバイス返還のためのガイドライン Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E03300 - SEMI E33 - 半導体製造装置の電磁適合性（EMC）のためのガイド
SEMI E33 - 半導体製造装置の電磁適合性（EMC）のためのガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E03005 - SEMI E30.5 - 計測装置の特定装置モデル
SEMI E30.5 - 計測装置の特定装置モデル Sale priceMember Price: $176.00
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E03001 - SEMI E30.1 - 検査および評価特定装置モデル（ISEM）
SEMI E30.1 - 検査および評価特定装置モデル（ISEM） Sale priceMember Price: $176.00
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E03000 - SEMI E30 - 제조장비제어와 커뮤니케이션을 위한 일반적 모델
SEMI E30 - 제조장비제어와 커뮤니케이션을 위한 일반적 모델 Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E03000 - SEMI E30 - 製造装置の通信およびコントロールのための包括的モデル（GEM）
SEMI E30 - 製造装置の通信およびコントロールのための包括的モデル（GEM） Sale priceMember Price: $344.00
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E02900 - SEMI E29 - マスフローコントローラ及びマスフローメータの校正のための標準用語
SEMI E29 - マスフローコントローラ及びマスフローメータの校正のための標準用語 Sale priceMember Price: $176.00
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E02800 - SEMI E28 - マスフローコントローラの圧力仕様のガイドライン
SEMI E28 - マスフローコントローラの圧力仕様のガイドライン Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E02700 - SEMI E27 - マスフローコントローラおよびマスフローメータの直線性のガイド
SEMI E27 - マスフローコントローラおよびマスフローメータの直線性のガイド Sale priceMember Price: $176.00
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