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SEMI Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1000 industry approved standards and guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers.

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S01500 - SEMI S15 - 有毒及易燃氣體偵測系統評估之安全基準
SEMI S15 - 有毒及易燃氣體偵測系統評估之安全基準 Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
S01400 - SEMI S14 - 반도체 제조 장비의 화재 위험성 평가 및 완화 안전 가이드라인
SEMI S14 - 반도체 제조 장비의 화재 위험성 평가 및 완화 안전 가이드라인 Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
S01400 - SEMI S14 - 半導體製造設備火災風險評估與降低之安全基準
SEMI S14 - 半導體製造設備火災風險評估與降低之安全基準 Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
S01200 - SEMI S12 - 装置の汚染除去に対する環境，健康および安全ガイドライン
SEMI S12 - 装置の汚染除去に対する環境，健康および安全ガイドライン Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
S01200 - SEMI S12 - 設備除污基準
SEMI S12 - 設備除污基準 Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
S01000 - SEMI S10 - 風險評估及風險估算過程之安全基準
SEMI S10 - 風險評估及風險估算過程之安全基準 Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
S01000 - SEMI S10 - 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인
SEMI S10 - 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인 Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
PV09000 - SEMI PV90 - Guide for Material Requirements of Internal Feeders Used in Monocrystal Silicon Growers
SEMI PV90 - Guide for Material Requirements of Internal Feeders Used in Monocrystal Silicon Growers Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
PV08900 - SEMI PV89 - Test Method of Current-Voltage (I-V) Measurement in Indoor Lighting for Dye-Sensitized Solar Cell and Organic Photovoltaic and Perovskite Solar Cell (PSC)
SEMI PV89 - Test Method of Current-Voltage (I-V) Measurement in Indoor Lighting for Dye-Sensitized Solar Cell and Organic Photovoltaic and Perovskite Solar Cell (PSC) Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
E04500 - SEMI E45 - Test Method for the Determination of Inorganic Contamination from Minienvironments Using VPD-TXRF, VPD-AAS, or VPD/ICP-MS
SEMI E45 - Test Method for the Determination of Inorganic Contamination from Minienvironments Using VPD-TXRF, VPD-AAS, or VPD/ICP-MS Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F09900 - SEMI F99 - Dimensional Specification of a Diaphragm Valve for a Metric PFA Tube
SEMI F99 - Dimensional Specification of a Diaphragm Valve for a Metric PFA Tube Regular price$300.00 USD Sale price$187.00 USD
F09600 - SEMI F96 - 液体CVD原料を入れるキャニスターのポート設定のための仕様
SEMI F96 - 液体CVD原料を入れるキャニスターのポート設定のための仕様 Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F09600 - SEMI F96 - Specification for Port Configuration of Canisters to Contain CVD Precursors
SEMI F96 - Specification for Port Configuration of Canisters to Contain CVD Precursors Regular price$300.00 USD Sale price$187.00 USD
F09500 - SEMI F95 - Specification for Dimension of Three Port Components for 1.5 Inch Four Fastener Configuration Type Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F95 - Specification for Dimension of Three Port Components for 1.5 Inch Four Fastener Configuration Type Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F09500 - SEMI F95 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネントの寸法のための仕様
SEMI F95 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネントの寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F09400 - SEMI F94 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様
SEMI F94 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F09400 - SEMI F94 - Specification for Dimension of Two Port Components (Except MFC/MFM) for 1.5 Inch Four Fastener Configuration Type Surface Mount Gas Distribution SystemsF09400 - SEMI F94 - Specification for Dimension of Two Port Components (Except MFC/MFM) for 1.5 Inch Four Fastener Configuration Type Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F94 - Specification for Dimension of Two Port Components (Except MFC/MFM) for 1.5 Inch Four Fastener Configuration Type Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F09300 - SEMI F93 - Specification for Dimension of One Port Components for 1.5 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F93 - Specification for Dimension of One Port Components for 1.5 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F09300 - SEMI F93 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの寸法のための仕様
SEMI F93 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F09200 - SEMI F92 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズ3ポートコンポーネントの寸法のための仕様
SEMI F92 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズ3ポートコンポーネントの寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F09200 - SEMI F92 - Specification for Dimension of Compact Size Three Port Components for 1.5 Inch Type Two Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F92 - Specification for Dimension of Compact Size Three Port Components for 1.5 Inch Type Two Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F09100 - SEMI F91 - Specification for Dimension of Compact Size Two Port Components (Except MFC/MFM) for 1.5 Inch Type Two Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F91 - Specification for Dimension of Compact Size Two Port Components (Except MFC/MFM) for 1.5 Inch Type Two Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F09100 - SEMI F91 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズ2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様
SEMI F91 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズ2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F00900 - SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブフィッティング接合部の漏洩特性を測定する試験方法
SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブフィッティング接合部の漏洩特性を測定する試験方法 Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F00900 - SEMI F9 - Test Method to Determine the Leakage Characteristics of Tube Fitting Connections Made of Fluorocarbon Materials, When Subjected to a Side Load Condition
SEMI F9 - Test Method to Determine the Leakage Characteristics of Tube Fitting Connections Made of Fluorocarbon Materials, When Subjected to a Side Load Condition Regular price$300.00 USD Sale price$187.00 USD
F09000 - SEMI F90 - Specification for Dimension of Standard Size Two Port Components (Except MFC/MFM) for 1.5 Inch Type Two Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F90 - Specification for Dimension of Standard Size Two Port Components (Except MFC/MFM) for 1.5 Inch Type Two Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F09000 - SEMI F90 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用スタンダードサイズ2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様
SEMI F90 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用スタンダードサイズ2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F08900 - SEMI F89 - 1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズマスフローコントローラ／マスフローメータの寸法のための仕様
SEMI F89 - 1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズマスフローコントローラ／マスフローメータの寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F08900 - SEMI F89 - Specification for Dimension of Compact Size Mass Flow Controllers and Mass Flow Meters for 1.5 Inch Type Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F89 - Specification for Dimension of Compact Size Mass Flow Controllers and Mass Flow Meters for 1.5 Inch Type Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F08800 - SEMI F88 - Specification for Dimension of Standard Size Mass Flow Controllers and Mass Flow Meters for 1.5 Inch Type Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F88 - Specification for Dimension of Standard Size Mass Flow Controllers and Mass Flow Meters for 1.5 Inch Type Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F08800 - SEMI F88 - 1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用スタンダードサイズマスフローコントローラ／マスフローメータの寸法のための仕様
SEMI F88 - 1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用スタンダードサイズマスフローコントローラ／マスフローメータの寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F08700 - SEMI F87 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様
SEMI F87 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F08700 - SEMI F87 - Specification for Dimension of Three Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F87 - Specification for Dimension of Three Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F08600 - SEMI F86 - Specification for Dimension of Two Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F86 - Specification for Dimension of Two Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F08600 - SEMI F86 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様
SEMI F86 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F08500 - SEMI F85 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの寸法のための仕様
SEMI F85 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F08500 - SEMI F85 - Specification for Dimension of One Port Components for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F85 - Specification for Dimension of One Port Components for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F08400 - SEMI F84 - Specification for Dimension of Three Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Two Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F84 - Specification for Dimension of Three Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Two Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F08400 - SEMI F84 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様
SEMI F84 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F08300 - SEMI F83 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様
SEMI F83 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F08300 - SEMI F83 - Specification for Dimension of Two Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Two Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F83 - Specification for Dimension of Two Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Two Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F08200 - SEMI F82 - Specification for Dimension of Mass Flow Controller/Mass Flow Meter for 1.125 Inch Type Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F82 - Specification for Dimension of Mass Flow Controller/Mass Flow Meter for 1.125 Inch Type Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F08200 - SEMI F82 - 1.125インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用マスフローコントローラ／マスフローメータの寸法のための仕様
SEMI F82 - 1.125インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用マスフローコントローラ／マスフローメータの寸法のための仕様 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F00800 - SEMI F8 - Test Method for Evaluating the Sealing Capabilities of Tube Fitting Connections Made of Fluorocarbon Materials, When Subjected to Tensile Forces
SEMI F8 - Test Method for Evaluating the Sealing Capabilities of Tube Fitting Connections Made of Fluorocarbon Materials, When Subjected to Tensile Forces Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F00800 - SEMI F8 - 引張り力を受けた場合のフロロカーボン製チューブ継手接合部のシール能力を評価する試験方法
SEMI F8 - 引張り力を受けた場合のフロロカーボン製チューブ継手接合部のシール能力を評価する試験方法 Sale priceMember Price: $171.00
Non-Member Price: $224.00
F00700 - SEMI F7 - フロロカーボン製チューブフィッティング接合部の引張り強さを測定するテスト方法
SEMI F7 - フロロカーボン製チューブフィッティング接合部の引張り強さを測定するテスト方法 Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F00700 - SEMI F7 - Test Method to Determine the Tensile Strength of Tube Fitting Connections Made of Fluorocarbon Materials
SEMI F7 - Test Method to Determine the Tensile Strength of Tube Fitting Connections Made of Fluorocarbon Materials Sale priceMember Price: $144.00
Non-Member Price: $187.00
F07100 - SEMI F71 - Test Method for Temperature Cycle of Gas Delivery System
SEMI F71 - Test Method for Temperature Cycle of Gas Delivery System Regular price$300.00 USD Sale price$187.00 USD
F00600 - SEMI F6 - 危険ガス配管システムの二次封じ込め（ガイドライン）F00600 - SEMI F6 - 危険ガス配管システムの二次封じ込め（ガイドライン）
SEMI F6 - 危険ガス配管システムの二次封じ込め（ガイドライン） Regular price$360.00 USD Sale price$224.00 USD
F00600 - SEMI F6 - Guide for Secondary Containment of Hazardous Gas Piping Systems
SEMI F6 - Guide for Secondary Containment of Hazardous Gas Piping Systems Regular price$300.00 USD Sale price$187.00 USD