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SEMI Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1000 industry approved standards and guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers.

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P01800 - SEMI P18 - Specification for Overlay Capabilities of Wafer Steppers
SEMI P18 - Specification for Overlay Capabilities of Wafer Steppers Sale priceMember Price: $148.00
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P01800 - SEMI P18 - ウェーハステッパーのオーバーレイ能力
SEMI P18 - ウェーハステッパーのオーバーレイ能力 Sale priceMember Price: $176.00
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P01700 - SEMI P17 - 誘導結合プラズマ発光分光法（ICP）によるポジティブ・フォトレジスト・メタルイオンフリー（MIF）現像液における鉄，亜鉛，カルシウム，マグネシウム，銅，ホウ素，アルミニウム，クロム，マンガン，およびニッケルの測定
SEMI P17 - 誘導結合プラズマ発光分光法（ICP）によるポジティブ・フォトレジスト・メタルイオンフリー（MIF）現像液における鉄，亜鉛，カルシウム，マグネシウム，銅，ホウ素，アルミニウム，クロム，マンガン，およびニッケルの測定 Sale priceMember Price: $176.00
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P01700 - SEMI P17 - Determination of Iron, Zinc, Calcium, Magnesium, Copper, Boron, Aluminum, Chromium, Manganese, and Nickel in Positive Photoresist Metal Ion Free (MIF) Developers by Inductively Coupled Plasma Emission Spectroscopy (ICP)
SEMI P17 - Determination of Iron, Zinc, Calcium, Magnesium, Copper, Boron, Aluminum, Chromium, Manganese, and Nickel in Positive Photoresist Metal Ion Free (MIF) Developers by Inductively Coupled Plasma Emission Spectroscopy (ICP) Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
P01600 - SEMI P16 - 黒鉛炉原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト・メタルイオンフリー（MIF）現像液中の錫の測定
SEMI P16 - 黒鉛炉原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト・メタルイオンフリー（MIF）現像液中の錫の測定 Sale priceMember Price: $176.00
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P01600 - SEMI P16 - Determination of Tin in Positive Photoresist Metal Ion Free (MIF) Developers by Graphite Furnace Atomic Absorption Spectroscopy
SEMI P16 - Determination of Tin in Positive Photoresist Metal Ion Free (MIF) Developers by Graphite Furnace Atomic Absorption Spectroscopy Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
P01500 - SEMI P15 - 原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト・メタルイオンフリー（MIF）現像液中のナトリウムとカリウムの測定
SEMI P15 - 原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト・メタルイオンフリー（MIF）現像液中のナトリウムとカリウムの測定 Sale priceMember Price: $176.00
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P01500 - SEMI P15 - Determination of Sodium and Potassium in Positive Photoresist Metal Ion Free (MIF) Developers by Atomic Absorption Spectroscopy
SEMI P15 - Determination of Sodium and Potassium in Positive Photoresist Metal Ion Free (MIF) Developers by Atomic Absorption Spectroscopy Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
P01400 - SEMI P14 - 黒鉛炉原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト中の錫の測定
SEMI P14 - 黒鉛炉原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト中の錫の測定 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
P01400 - SEMI P14 - Determination of Tin in Positive Photoresists by Graphite Furnace Atomic Absorption Spectroscopy
SEMI P14 - Determination of Tin in Positive Photoresists by Graphite Furnace Atomic Absorption Spectroscopy Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
P01300 - SEMI P13 - 原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト中におけるナトリウムとカリウムの測定
SEMI P13 - 原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト中におけるナトリウムとカリウムの測定 Sale priceMember Price: $176.00
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P01300 - SEMI P13 - Determination of Sodium and Potassium in Positive Photoresists by Atomic Absorption Spectroscopy
SEMI P13 - Determination of Sodium and Potassium in Positive Photoresists by Atomic Absorption Spectroscopy Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
P01200 - SEMI P12 - 誘導結合プラズマ発光分光法（ICP）によるポジティブ・フォトレジスト中の鉄，亜鉛，カルシウム，マグネシウム，銅，ホウ素，アルミニウム，クロム，マンガン，及びニッケルの測定
SEMI P12 - 誘導結合プラズマ発光分光法（ICP）によるポジティブ・フォトレジスト中の鉄，亜鉛，カルシウム，マグネシウム，銅，ホウ素，アルミニウム，クロム，マンガン，及びニッケルの測定 Sale priceMember Price: $176.00
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P01200 - SEMI P12 - Determination of Iron, Zinc, Calcium, Magnesium, Copper, Boron, Aluminum, Chromium, Manganese, and Nickel in Positive Photoresists by Inductively Coupled Plasma Emission Spectroscopy (ICP)
SEMI P12 - Determination of Iron, Zinc, Calcium, Magnesium, Copper, Boron, Aluminum, Chromium, Manganese, and Nickel in Positive Photoresists by Inductively Coupled Plasma Emission Spectroscopy (ICP) Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
P01100 - SEMI P11 - Test Method for Determination of Total Normality for Alkaline Developer Solutions
SEMI P11 - Test Method for Determination of Total Normality for Alkaline Developer Solutions Sale priceMember Price: $148.00
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P01100 - SEMI P11 - アルカリ現像溶液に対する全規定度の測定のテスト方法
SEMI P11 - アルカリ現像溶液に対する全規定度の測定のテスト方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
P00100 - SEMI P1 - ハードサーフェス・フォトマスク用基板
SEMI P1 - ハードサーフェス・フォトマスク用基板 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
P00100 - SEMI P1 - Specification for Hard Surface Photomask Substrates
SEMI P1 - Specification for Hard Surface Photomask Substrates Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
P01000 - SEMI P10 - Specification of Data Structures for Photomask Orders
SEMI P10 - Specification of Data Structures for Photomask Orders Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
3D02000 - SEMI 3D20 - Specification for Panel Characteristics for Panel Level Packaging (PLP) Applications
SEMI 3D20 - Specification for Panel Characteristics for Panel Level Packaging (PLP) Applications Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
S03000 - SEMI S30 - Safety Guideline for Use of Energetic Materials in Semiconductor R&D and Manufacturing Processes
SEMI S30 - Safety Guideline for Use of Energetic Materials in Semiconductor R&D and Manufacturing Processes Sale priceMember Price: $286.00
Non-Member Price: $380.00
G08400 - SEMI G84 - Specification for Strip Map Protocol
SEMI G84 - Specification for Strip Map Protocol Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
3D01900 - SEMI 3D19 - Test Method for Adhesive Strength of Adhesive Tray Used for Thin Chip Handling
SEMI 3D19 - Test Method for Adhesive Strength of Adhesive Tray Used for Thin Chip Handling Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
F07100 - SEMI F71 - ガス供給システムの温度サイクル試験方法
SEMI F71 - ガス供給システムの温度サイクル試験方法 Regular price$300.00 USD Sale price$231.00 USD
F02100 - SEMI F21 - 清浄な環境における空気を媒体とする分子汚染レベルの分類
SEMI F21 - 清浄な環境における空気を媒体とする分子汚染レベルの分類 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F03400 - SEMI F34 - 液体化学薬品配管ラベリングに関するガイド
SEMI F34 - 液体化学薬品配管ラベリングに関するガイド Sale priceMember Price: $176.00
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F04200 - SEMI F42 - Test Method for Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity
SEMI F42 - Test Method for Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
F01700 - SEMI F17 - Specification for High Purity Quality Electropolished 316L Stainless Steel Tubing, Component Tube Stubs, and Fittings Made from Tubing
SEMI F17 - Specification for High Purity Quality Electropolished 316L Stainless Steel Tubing, Component Tube Stubs, and Fittings Made from Tubing Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
F04500 - SEMI F45 - 機械加工されたステンレス鋼製異径溶接継手の仕様
SEMI F45 - 機械加工されたステンレス鋼製異径溶接継手の仕様 Sale priceMember Price: $176.00
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F04400 - SEMI F44 - 機械加工されたステンレス鋼製溶接継手の仕様
SEMI F44 - 機械加工されたステンレス鋼製溶接継手の仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F02600 - SEMI F26 - グレード10/0.2　有毒特殊ガスの粒子に関する仕様
SEMI F26 - グレード10/0.2　有毒特殊ガスの粒子に関する仕様 Sale priceMember Price: $176.00
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F02300 - SEMI F23 - グレード10/0.2　引火性特殊ガスの粒子に関する仕様
SEMI F23 - グレード10/0.2　引火性特殊ガスの粒子に関する仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F05600 - SEMI F56 - マスフローコントローラの定常供給電圧の影響を測定するための試験方法
SEMI F56 - マスフローコントローラの定常供給電圧の影響を測定するための試験方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F05500 - SEMI F55 - マスフローコントローラの耐腐食性を求めるための試験方法
SEMI F55 - マスフローコントローラの耐腐食性を求めるための試験方法 Sale priceMember Price: $176.00
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F07700 - SEMI F77 - 腐食性のガスシステムに使用される合金表面の電気化学的臨界孔食温度のテスト方法
SEMI F77 - 腐食性のガスシステムに使用される合金表面の電気化学的臨界孔食温度のテスト方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F04000 - SEMI F40 - 化学試験のための薬液分配部品の準備についての作業方法
SEMI F40 - 化学試験のための薬液分配部品の準備についての作業方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F10100 - SEMI F101 - ガス分配システムの圧力レギュレータの性能を決定するための試験方法
SEMI F101 - ガス分配システムの圧力レギュレータの性能を決定するための試験方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F09800 - SEMI F98 - 半導体プロセスにおける用水再処理のためのガイド
SEMI F98 - 半導体プロセスにおける用水再処理のためのガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F06400 - SEMI F64 - マスフローコントローラの指示および実流量に対する圧力影響を測定する試験方法
SEMI F64 - マスフローコントローラの指示および実流量に対する圧力影響を測定する試験方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F06200 - SEMI F62 - 周囲およびガス温度の影響からマスフローコントローラ性能特性を決定する試験方法
SEMI F62 - 周囲およびガス温度の影響からマスフローコントローラ性能特性を決定する試験方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F01500 - SEMI F15 - 筐体の試験方法（六フッ化硫黄のトレーサガス）のSEMI S6への移行
SEMI F15 - 筐体の試験方法（六フッ化硫黄のトレーサガス）のSEMI S6への移行 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F03700 - SEMI F37 - ガス供給システム構成部品の表面粗さパラメータの算出方法
SEMI F37 - ガス供給システム構成部品の表面粗さパラメータの算出方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F02900 - SEMI F29 - ガスソースシステムパネルのパージ効果のテスト方法
SEMI F29 - ガスソースシステムパネルのパージ効果のテスト方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F02000 - SEMI F20 - 高純度および超高純度の半導体製造アプリケーションで使用される汎用コンポーネント用の316Lステンレス鋼の棒鋼，鍛造品，押出成形品，鋼板，鋼管の仕様
SEMI F20 - 高純度および超高純度の半導体製造アプリケーションで使用される汎用コンポーネント用の316Lステンレス鋼の棒鋼，鍛造品，押出成形品，鋼板，鋼管の仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F07900 - SEMI F79 - ガス配送コンポーネントに使用されるガスのシリコンとの適合性に関するガイド
SEMI F79 - ガス配送コンポーネントに使用されるガスのシリコンとの適合性に関するガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F03000 - SEMI F30 - 据付現場における微量ガス不純物およびパーティクルに関する精製器性能テストの始動および検証
SEMI F30 - 据付現場における微量ガス不純物およびパーティクルに関する精製器性能テストの始動および検証 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
F01500 - SEMI F15 - Test Method for Enclosures Using Sulfur Hexafluoride Tracer Gas and Gas Chromatography
SEMI F15 - Test Method for Enclosures Using Sulfur Hexafluoride Tracer Gas and Gas Chromatography Sale price Member Price : $148.00
MF065700 - SEMI MF657 - Test Method for Measuring Warp and Total Thickness Variation on Silicon Wafers by Noncontact Scanning
SEMI MF657 - Test Method for Measuring Warp and Total Thickness Variation on Silicon Wafers by Noncontact Scanning Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
MF053400 - SEMI MF534 - Test Method for Bow of Silicon Wafers
SEMI MF534 - Test Method for Bow of Silicon Wafers Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
MF039900 - SEMI MF399 - Test Method for Thickness of Heteroepitaxial or Polysilicon Layers
SEMI MF399 - Test Method for Thickness of Heteroepitaxial or Polysilicon Layers Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00