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SEMI Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1000 industry approved standards and guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers.

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M02400 - SEMI M24 - 鏡面単結晶プレミアムシリコンウェーハの仕様
SEMI M24 - 鏡面単結晶プレミアムシリコンウェーハの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
M02400 - SEMI M24 - Specification for Polished Monocrystalline Silicon Premium Wafers
SEMI M24 - Specification for Polished Monocrystalline Silicon Premium Wafers Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
M02300 - SEMI M23 - 鏡面単結晶インジウムリンウェーハの仕様
SEMI M23 - 鏡面単結晶インジウムリンウェーハの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
M02200 - SEMI M22 - Specification for Dielectrically Isolated (DI) Wafers
SEMI M22 - Specification for Dielectrically Isolated (DI) Wafers Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
M02100 - SEMI M21 - カーテシアン（デカルト）アレイにおける方形エレメントへの割当アドレスのガイド
SEMI M21 - カーテシアン（デカルト）アレイにおける方形エレメントへの割当アドレスのガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
M02000 - SEMI M20 - ウェーハ座標システムの確立の作業方法
SEMI M20 - ウェーハ座標システムの確立の作業方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
M01900 - SEMI M19 - バルク・ガリウムヒ素単結晶基板の電気的性質（仕様）
SEMI M19 - バルク・ガリウムヒ素単結晶基板の電気的性質（仕様） Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
M01900 - SEMI M19 - Specification for Electrical Properties of Bulk Gallium Arsenide Single Crystal Substrates
SEMI M19 - Specification for Electrical Properties of Bulk Gallium Arsenide Single Crystal Substrates Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
M01800 - SEMI M18 - シリコンウェーハ発注仕様書開発のガdイド
SEMI M18 - シリコンウェーハ発注仕様書開発のガdイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
M01800 - SEMI M18 - Format for Silicon Wafer Specification Form for Order Entry
SEMI M18 - Format for Silicon Wafer Specification Form for Order Entry Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
M01500 - SEMI M15 - 半絶縁ガリウムヒ素ウェーハ用の鏡面ウェーハの許容表面欠陥表
SEMI M15 - 半絶縁ガリウムヒ素ウェーハ用の鏡面ウェーハの許容表面欠陥表 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
M01500 - SEMI M15 - Polished Wafer Defect Limits Table for Semi-Insulating Gallium Arsenide Wafers
SEMI M15 - Polished Wafer Defect Limits Table for Semi-Insulating Gallium Arsenide Wafers Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
M01400 - SEMI M14 - 半絶縁ガリウムヒ素単結晶のためのイオン注入及び活性化プロセス（仕様）
SEMI M14 - 半絶縁ガリウムヒ素単結晶のためのイオン注入及び活性化プロセス（仕様） Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
M01400 - SEMI M14 - Specification for Ion Implantation and Activation Process for Semi-Insulating Gallium Arsenide Single Crystals
SEMI M14 - Specification for Ion Implantation and Activation Process for Semi-Insulating Gallium Arsenide Single Crystals Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
M01300 - SEMI M13 - シリコンウェーハの英数字マーキングの仕様
SEMI M13 - シリコンウェーハの英数字マーキングの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
M01200 - SEMI M12 - ウェーハ表面の連続英数字マーキングの仕様
SEMI M12 - ウェーハ表面の連続英数字マーキングの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
M01000 - SEMI M10 - ガリウムヒ素ウェーハに見られる構造及び特徴の確認のための標準名称
SEMI M10 - ガリウムヒ素ウェーハに見られる構造及び特徴の確認のための標準名称 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
M00100 - SEMI M1 - 鏡面単結晶シリコンウェーハの仕様
SEMI M1 - 鏡面単結晶シリコンウェーハの仕様 Sale priceMember Price: $344.00
Non-Member Price: $457.00
MS00900 - SEMI MS9 - Specification for High Density Permanent Connections Between Microfluidic Devices
SEMI MS9 - Specification for High Density Permanent Connections Between Microfluidic Devices Regular price$300.00 USD Sale price$193.00 USD
MS00700 - SEMI MS7 - Specification for Microfluidic Interfaces to Electronic Device Packages
SEMI MS7 - Specification for Microfluidic Interfaces to Electronic Device Packages Regular price$300.00 USD Sale price$193.00 USD
MS00600 - SEMI MS6 - Guide for Design and Materials for Interfacing Microfluidic Systems
SEMI MS6 - Guide for Design and Materials for Interfacing Microfluidic Systems Regular price$300.00 USD Sale price$193.00 USD
MS00800 - SEMI MS8 - Guide to Evaluating Hermeticity of Microelectromechanical Systems (MEMS) Packages
SEMI MS8 - Guide to Evaluating Hermeticity of Microelectromechanical Systems (MEMS) Packages Regular price$300.00 USD Sale price$193.00 USD
MS00500 - SEMI MS5 - Test Method for Wafer Bond Strength Measurements Using Micro-Chevron Test Structures
SEMI MS5 - Test Method for Wafer Bond Strength Measurements Using Micro-Chevron Test Structures Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
MS00400 - SEMI MS4 - Test Method for Young's Modulus Measurements of Thin, Reflecting Films Based on the Frequency of Beams in Resonance
SEMI MS4 - Test Method for Young's Modulus Measurements of Thin, Reflecting Films Based on the Frequency of Beams in Resonance Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
MS00300 - SEMI MS3 - Terminology for MEMS Technology
SEMI MS3 - Terminology for MEMS Technology Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
MS00200 - SEMI MS2 - Test Method for Step Height Measurements of Thin Films
SEMI MS2 - Test Method for Step Height Measurements of Thin Films Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
MS01100 - SEMI MS11 - Specification for Microfluidic Port and Pitch Dimensions
SEMI MS11 - Specification for Microfluidic Port and Pitch Dimensions Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
MS00100 - SEMI MS1 - Guide to Specifying Wafer-Wafer Bonding Alignment Targets
SEMI MS1 - Guide to Specifying Wafer-Wafer Bonding Alignment Targets Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
MS01000 - SEMI MS10 - Test Method to Measure Fluid Permeation Through MEMS Packaging Materials
SEMI MS10 - Test Method to Measure Fluid Permeation Through MEMS Packaging Materials Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E09900 - SEMI E99 - キャリアIDリーダ／ライタ機能スタンダード：コンセプト，挙動，およびサービスに関する仕様
SEMI E99 - キャリアIDリーダ／ライタ機能スタンダード：コンセプト，挙動，およびサービスに関する仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E09100 - SEMI E91 - プローバ独自の装置モデル（PSEM）に関する仕様
SEMI E91 - プローバ独自の装置モデル（PSEM）に関する仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E09000 - SEMI E90 - 기판 추적 사양
SEMI E90 - 기판 추적 사양 Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E09000 - SEMI E90 - 基板トラッキングの仕様
SEMI E90 - 基板トラッキングの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E08800 - SEMI E88 - AMHS保管SEM（ストッカーSEM）の仕様
SEMI E88 - AMHS保管SEM（ストッカーSEM）の仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E08700 - SEMI E87 - 캐리어 관리 사양
SEMI E87 - 캐리어 관리 사양 Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E08700 - SEMI E87 - キャリア管理（CMS）のための仕様
SEMI E87 - キャリア管理（CMS）のための仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E08500 - SEMI E85 - ベイ間搬送システム用AMHSストッカーの共用性に関する仕様
SEMI E85 - ベイ間搬送システム用AMHSストッカーの共用性に関する仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E08400 - SEMI E84 - 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 강화 사양
SEMI E84 - 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 강화 사양 Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E08400 - SEMI E84 - エンハンストキャリア移載パラレルI/Oインタフェースの仕様
SEMI E84 - エンハンストキャリア移載パラレルI/Oインタフェースの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E08200 - SEMI E82 - 工程間／工程内AMHS SEMの仕様（IBSEM）
SEMI E82 - 工程間／工程内AMHS SEMの仕様（IBSEM） Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E07200 - SEMI E72 - 300 mm装置の床面積，高さ，重量の仕様ならびにガイド
SEMI E72 - 300 mm装置の床面積，高さ，重量の仕様ならびにガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E06700 - SEMI E67 - マスフローコントローラの信頼性測定のためのテスト方法
SEMI E67 - マスフローコントローラの信頼性測定のためのテスト方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E06600 - SEMI E66 - マスフローコントローラのパーティクル発生測定のテスト方法
SEMI E66 - マスフローコントローラのパーティクル発生測定のテスト方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E05600 - SEMI E56 - 熱マスフローコントローラの精度，直線性，リピータビリティ，短期再現性，ヒステリシス（履歴現象）およびデッドバンドを判断するテスト方法
SEMI E56 - 熱マスフローコントローラの精度，直線性，リピータビリティ，短期再現性，ヒステリシス（履歴現象）およびデッドバンドを判断するテスト方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E05421 - SEMI E54.21 - MOTIONNET®用センサ／アクチュエータネットワーク（SAN）通信に関する仕様
SEMI E54.21 - MOTIONNET®用センサ／アクチュエータネットワーク（SAN）通信に関する仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E05419 - SEMI E54.19 - MECHATROLINKに関するセンサ／アクチュエータネットワークの仕様
SEMI E54.19 - MECHATROLINKに関するセンサ／アクチュエータネットワークの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E05417 - SEMI E54.17 - A-LINKに関するセンサ／アクチュエータネットワークの規定
SEMI E54.17 - A-LINKに関するセンサ／アクチュエータネットワークの規定 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E05410 - SEMI E54.10 - in-situパーティクルモニターデバイスのためのセンサ/アクチュエータネットワーク特定デバイスモデルの仕様
SEMI E54.10 - in-situパーティクルモニターデバイスのためのセンサ/アクチュエータネットワーク特定デバイスモデルの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E05400 - SEMI E54 - センサ／アクチュエータネットワークのスタンダード
SEMI E54 - センサ／アクチュエータネットワークのスタンダード Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E05200 - SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表
SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00