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SEMI Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1000 industry approved standards and guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers.

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E05200 - SEMI E52 - Practice for Referencing Gases, Gas Mixtures, and Vaporizable Materials Used in Digital Mass Flow Controllers
SEMI E52 - Practice for Referencing Gases, Gas Mixtures, and Vaporizable Materials Used in Digital Mass Flow Controllers Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E00500 - SEMI E5 - SEMI 장비 커뮤니케이션 표준2 메세지 내용
SEMI E5 - SEMI 장비 커뮤니케이션 표준2 메세지 내용 Sale priceMember Price: $148.00
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E04900 - SEMI E49 - 高純度および超高純度配管システムの性能，サブアセンブリ，最終組立のためのガイド
SEMI E49 - 高純度および超高純度配管システムの性能，サブアセンブリ，最終組立のためのガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E04800 - SEMI E48 - SMIFインデクサ用空間のための仕様
SEMI E48 - SMIFインデクサ用空間のための仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E04000 - SEMI E40 - 프로세싱 관리 표준
SEMI E40 - 프로세싱 관리 표준 Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E04000 - SEMI E40 - プロセス管理スタンダード
SEMI E40 - プロセス管理スタンダード Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E00400 - SEMI E4 - 半導体製造装置通信スタンダード1　メッセージトランスファ（SECS-I）
SEMI E4 - 半導体製造装置通信スタンダード1　メッセージトランスファ（SECS-I） Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E03900 - SEMI E39 - 객체 서비스 표준: 컨셉트, 동작, 서비스
SEMI E39 - 객체 서비스 표준: 컨셉트, 동작, 서비스 Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E03900 - SEMI E39 - オブジェクトサービス･スタンダード：概念，挙動およびサービス
SEMI E39 - オブジェクトサービス･スタンダード：概念，挙動およびサービス Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E03800 - SEMI E38 - Cluster Tool Module Communications (CTMC)
SEMI E38 - Cluster Tool Module Communications (CTMC) Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E03700 - SEMI E37 - HSMS의 일반적 서비스(HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES (HSMS) GENERIC SERVICES)
SEMI E37 - HSMS의 일반적 서비스(HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES (HSMS) GENERIC SERVICES) Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E03700 - SEMI E37 - 高速SECSメッセージサービス（HSMS）汎用サービス
SEMI E37 - 高速SECSメッセージサービス（HSMS）汎用サービス Sale priceMember Price: $344.00
Non-Member Price: $457.00
E03501 - SEMI E35.1 - Guide for Cost of Equipment Ownership Comparison Metric
SEMI E35.1 - Guide for Cost of Equipment Ownership Comparison Metric Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E03500 - SEMI E35 - 半導体製造装置のCOO測定方法の計算ガイド
SEMI E35 - 半導体製造装置のCOO測定方法の計算ガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E03400 - SEMI E34 - マスフローデバイス返還のためのガイドライン
SEMI E34 - マスフローデバイス返還のためのガイドライン Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E03300 - SEMI E33 - 半導体製造装置の電磁適合性（EMC）のためのガイド
SEMI E33 - 半導体製造装置の電磁適合性（EMC）のためのガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E03005 - SEMI E30.5 - 計測装置の特定装置モデル
SEMI E30.5 - 計測装置の特定装置モデル Sale priceMember Price: $176.00
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E03001 - SEMI E30.1 - 検査および評価特定装置モデル（ISEM）
SEMI E30.1 - 検査および評価特定装置モデル（ISEM） Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E03000 - SEMI E30 - 제조장비제어와 커뮤니케이션을 위한 일반적 모델
SEMI E30 - 제조장비제어와 커뮤니케이션을 위한 일반적 모델 Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E03000 - SEMI E30 - 製造装置の通信およびコントロールのための包括的モデル（GEM）
SEMI E30 - 製造装置の通信およびコントロールのための包括的モデル（GEM） Sale priceMember Price: $344.00
Non-Member Price: $457.00
E02900 - SEMI E29 - マスフローコントローラ及びマスフローメータの校正のための標準用語
SEMI E29 - マスフローコントローラ及びマスフローメータの校正のための標準用語 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E02800 - SEMI E28 - マスフローコントローラの圧力仕様のガイドライン
SEMI E28 - マスフローコントローラの圧力仕様のガイドライン Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E02700 - SEMI E27 - マスフローコントローラおよびマスフローメータの直線性のガイド
SEMI E27 - マスフローコントローラおよびマスフローメータの直線性のガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E02600 - SEMI E26 - Radial Cluster Tool Footprint Standard
SEMI E26 - Radial Cluster Tool Footprint Standard Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E02400 - SEMI E24 - Cluster Tool Module Interface: Isolation Valve Interlocks Standard
SEMI E24 - Cluster Tool Module Interface: Isolation Valve Interlocks Standard Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E02400 - SEMI E24 - クラスタツール・モジュール・インタフェース： 隔離バルブインタロックのスタンダード
SEMI E24 - クラスタツール・モジュール・インタフェース： 隔離バルブインタロックのスタンダード Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E02000 - SEMI E20 - Cluster Tool Module Interface: Electrical Power and Emergency Off Standard
SEMI E20 - Cluster Tool Module Interface: Electrical Power and Emergency Off Standard Sale price Member Price : $148.00
E01905 - SEMI E19.5 - Specification for 300 mm Bottom-Opening Standard Mechanical Interface (SMIF)
SEMI E19.5 - Specification for 300 mm Bottom-Opening Standard Mechanical Interface (SMIF) Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E01700 - SEMI E17 - マスフローコントローラの過渡特性テストのガイド
SEMI E17 - マスフローコントローラの過渡特性テストのガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E16300 - SEMI E163 - 特別に指定されたエリア内のレチクルおよびその他の静電気超敏感性（EES：EXTREMELY ELECTROSTATIC SENSITIVE）アイテムの取り扱いのためのガイド
SEMI E163 - 特別に指定されたエリア内のレチクルおよびその他の静電気超敏感性（EES：EXTREMELY ELECTROSTATIC SENSITIVE）アイテムの取り扱いのためのガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E01600 - SEMI E16 - マスフローコントローラ漏洩率の決定および記述のガイド
SEMI E16 - マスフローコントローラ漏洩率の決定および記述のガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E15900 - SEMI E159 - ウェーハの搬送及び，輸送のための多目的キャリア(MAC：Multi Application Carrier)の機械仕様
SEMI E159 - ウェーハの搬送及び，輸送のための多目的キャリア(MAC：Multi Application Carrier)の機械仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E15800 - SEMI E158 - 450 mmウェーハ搬送および保管用の工場ウェーハキャリア（450FOUP）とキネマティックカプリングの機械仕様
SEMI E158 - 450 mmウェーハ搬送および保管用の工場ウェーハキャリア（450FOUP）とキネマティックカプリングの機械仕様 Sale price Member Price : $176.00
E15700 - SEMI E157 - モジュールプロセストラッキングの仕様
SEMI E157 - モジュールプロセストラッキングの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E15600 - SEMI E156 - 搬送インタフェースに対する450 mm AMHSストッカーの機械的仕様
SEMI E156 - 搬送インタフェースに対する450 mm AMHSストッカーの機械的仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E15400 - SEMI E154 - 450 mmロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様
SEMI E154 - 450 mmロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E15300 - SEMI E153 - AMHS SEMの仕様（AMHS SEM）
SEMI E153 - AMHS SEMの仕様（AMHS SEM） Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E15100 - SEMI E151 - データ品質を理解するためのガイド
SEMI E151 - データ品質を理解するためのガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E14300 - SEMI E143 - 50Ωの負荷に対する出力変動の測定およびすべての位相角において電圧定在波比が2.0の負荷に対する出力変動とスペクトルを測定するための試験方法
SEMI E143 - 50Ωの負荷に対する出力変動の測定およびすべての位相角において電圧定在波比が2.0の負荷に対する出力変動とスペクトルを測定するための試験方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E14200 - SEMI E142 - 基板マッピングの仕様
SEMI E142 - 基板マッピングの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E01400 - SEMI E14 - Measurement of Particle Contamination Contributed to the Product from the Process or Support Tool
SEMI E14 - Measurement of Particle Contamination Contributed to the Product from the Process or Support Tool Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00
E13900 - SEMI E139 - レシピとパラメータに関する管理の規定（RaP）
SEMI E139 - レシピとパラメータに関する管理の規定（RaP） Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E13800 - SEMI E138 - 半導体生産系で共通に使われる情報の構成要素のXML表現
SEMI E138 - 半導体生産系で共通に使われる情報の構成要素のXML表現 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E13700 - SEMI E137 - 半導体製造装置の最終組立，梱包，輸送，開梱，クリーンルームの製造領域への移送のためのガイド
SEMI E137 - 半導体製造装置の最終組立，梱包，輸送，開梱，クリーンルームの製造領域への移送のためのガイド Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E13600 - SEMI E136 - 半導体処理装置の高周波（RF）電力供給システムで使用されるRF電源の出力を決定するためのテスト方法
SEMI E136 - 半導体処理装置の高周波（RF）電力供給システムで使用されるRF電源の出力を決定するためのテスト方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E13500 - SEMI E135 - 半導体処理装置の高周波（RF）電力供給システムの過渡応答を決定するためのRF発振器のテスト方法
SEMI E135 - 半導体処理装置の高周波（RF）電力供給システムの過渡応答を決定するためのRF発振器のテスト方法 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E13400 - SEMI E134 - データ収集管理の仕様
SEMI E134 - データ収集管理の仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E13300 - SEMI E133 - 自動プロセス制御システムインタフェースの仕様
SEMI E133 - 自動プロセス制御システムインタフェースの仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E13200 - SEMI E132 - 装置クライアントの認証（Authentication）および権限付与（Authorization）のための仕様
SEMI E132 - 装置クライアントの認証（Authentication）および権限付与（Authorization）のための仕様 Sale priceMember Price: $176.00
Non-Member Price: $231.00
E13200 - SEMI E132 - 장비클라이언트 인증과 권한 부여에 대한 사양
SEMI E132 - 장비클라이언트 인증과 권한 부여에 대한 사양 Sale priceMember Price: $148.00
Non-Member Price: $193.00